德國AMMT 晶片支架Single IL

德國AMMT 晶片支架Single IL是用于單面蝕刻的晶片支架，帶有內(nèi)部照明。
德國AMMT 晶片支架Single IL的一個獨特之處是集成鹵素?zé)艋騆ED陣列，用于薄膜厚度的光學(xué)檢測。約22μm及以下的硅膜具有透光性，根據(jù)其厚度呈現(xiàn)不同深淺的棕色。背面照明功能是克服基于時間的蝕刻停止技術(shù)的一些缺點的有用工具。

SingleIL 晶圓夾持器