AMMT 多孔硅電源PS2是在氫氟酸中形成多孔硅和電拋光硅的強大儀器。它是第一個完全致力于MEMS制造技術(shù)的系統(tǒng)，具有許多獨特的功能，可以提高商業(yè)環(huán)境中的生產(chǎn)良率和可重復(fù)性。同時，AMMT 多孔硅電源PS2是研發(fā)的完美工具，為您的實驗室工作提供高度的靈活性和經(jīng)過驗證的可靠解決方案。
AMMT 多孔硅電源PS2有兩種版本可供選擇，一種是12安培的設(shè)備，用于4英寸以下晶圓的孔隙化，另一種是24安培的版本，用于更大的基板。輸出電壓和電流可以在設(shè)備的前面板上設(shè)置，而兩個大型LCD面板顯示了過程中的實際值。然而，PS2多孔硅電源的主要特征是它與AMMT控制軟件的可編程性。通過串行計算機接口，即使是復(fù)雜的基于時間的電流分布也可以下載到PS2多孔硅電源，用于制造多級結(jié)構(gòu)。監(jiān)控所有蝕刻參數(shù)有助于故障排除，并確保高制造質(zhì)量。
計算機控制是AMMT多孔硅電源PS2的主要特征之一。每個PS2多孔硅電源都附帶了專用控制軟件的免費許可證，可以：
定義和編輯基于時間的蝕刻電流分布
實時更改所有PS2參數(shù)
在蝕刻過程中監(jiān)控所有相關(guān)信息
通過錯誤檢查提高產(chǎn)量
打印每個蝕刻過程的簡明報告
工藝窗口在蝕刻過程中監(jiān)測電流和施加的電勢。
方法編輯器是基于時間的當前配置文件的方便編輯器。
其他程序的配置文件可能很重要，可以生成復(fù)雜的電流模式。還包括文檔導(dǎo)出功能。
