AMMT 晶片夾持器,晶片卡盤

AMMT 晶片夾持器

AMMT的螺絲擰緊晶片夾持器(也稱為晶片卡盤)為幾乎任何MEMS應用提供了解決方案。除了4英寸和6英寸的標準尺寸外,大多數(shù)晶片夾持器還可用于3英寸、5英寸、8英寸的方形芯片,甚至四分之一片完整晶圓的測試。

Tandem系列的一個獨特之處是其對稱設計,允許在每個晶片夾持器中安裝兩個晶片。這降低了設備成本,并允許更高的吞吐量,特別是在小型蝕刻浴中。串聯(lián)支架有普通支架、帶集成接觸引腳的EC型號用于電化學蝕刻停止技術,以及帶接觸引腳和背面照明的IL/OW類型用于光學控制。

此外,Single OW是一個單晶圓支架/晶圓卡盤,在制造過程中具有透明的檢查后蓋。

所有晶片卡盤都是基于化學性質極其穩(wěn)定的聚合物進行精確加工的。雙O型圈密封確保對晶片的可靠保護,彈簧加載的鍍金接觸引腳允許蝕刻停止過程的背面接觸。