Model C-2000準分子激光氣體凈化器
Excimer Laser Gas Purifiers
For ArF & Fluorine Laser Applications? 對于ArF和氟激光應用
對于工作在ArF和F的激光器2LN2冷卻C-2000經濟實惠,易于使用,高度可靠。C-2000還易于安裝、操作和維修。自動LN2補充可以作為一個額外的選擇。C-2000也可以作為API C-6000型凈化器進行改裝,用于多氣體操作。
粒子過濾 | < 0.1 microns; > 99.95% retention |
工作溫度 | 77 K。 |
氣體循環流速 | 30標準升/分鐘 |
氣體壓力范圍 | 1至5巴(絕對壓力) |
凈液氮容量 | 14升 |
規模 | 22英寸高x 19英寸寬x 22英寸深 |