Model C-8000
準分子激光氣體凈化器
Excimer Laser Gas Purifiers
For Industrial Excimer Laser Applications 針對工業準分子激光應用
為了滿足連續生產的需求，C-8000設計用于大量使用、無人值守操作和長期可靠性。C-8000具有本地和遠程控制功能，符合所有適用的TUV和IBM電氣和安全標準。所有服務連接的設計都是為了方便使用。MTTR和MTBF數據可應要求提供。
| 粒子過濾 | < 0.1 microns; > 99.95% retention |
| 工作溫度 | 77 K到150 K。 |
| 氣體循環流速 | 25標準升/分鐘 |
| 氣體壓力范圍 | 0.5至4.3巴(絕對壓力) |
| 凈液氮容量 | 13.6升 |
| 規模 | 22英寸高x 19英寸寬x 22英寸深 |
