Model C-6000
準分子激光氣體凈化器
Excimer Laser Gas Purifiers
For Multigas Excimer Lasers 對于多氣體準分子激光器
C-6000與所有準分子激光器和激光氣體類型兼容，具有自動控制和易于更換氣體的特點。C-6000提供了卓越的性能結果。C-6000可以配置為特殊應用，如高壓范圍和高流量要求。自動LN2補充可以作為一個額外的選擇。
| 粒子過濾 | < 0.1 microns; > 99.95% retention |
| 工作溫度 | 77 K到150 K。 |
| 氣體循環流速 | 30標準升/分鐘 |
| 氣體壓力范圍 | 1至5巴(絕對壓力) |
| 凈液氮容量 | 13.6升 |
| 規模 | 22英寸高x 19英寸寬x 22英寸深 |
