美國進(jìn)口ARC疝氣燈

Advanced Radiation Corporation的深紫外光(DUV)短弧燈常用于短波長高強(qiáng)度紫外光刻，其設(shè)計(jì)、制造和性能優(yōu)越。

深紫外線輻射是由汞-氙等離子體產(chǎn)生的。在光源制造過程中，必須仔細(xì)控制等離子體成分的精確濃度和比例，以獲得輸出輻射轉(zhuǎn)換的最大輸入功率。這里所描述的八種DUV燈代表了美國DUV曝光設(shè)備和系統(tǒng)的主要制造商三年多的研究和開發(fā)成果。

這些燈適用于幾種DUV光刻配方。聚甲基丙烯酸甲酯在210 ~ 260nm范圍內(nèi)敏感;200 – 330nm;AZ2400系列，范圍240 – 310nm;而ODVR系列在200到315 nm的范圍內(nèi)都很敏感。

產(chǎn)品型號：

DUV-350
DUV-500
DUV-1000
DUV-2000
DUV-350-30118
DUV-500-30036
DUV-500-30055
DUV-500-30056