目標：加熱石墨基座至1200℃，用于沉積鎵砷化物，通過加熱上面的碳石墨，然后將氦氣吹掃過基座，鎵砷化物可以沉積成一個晶圓，需要一個水冷的石英管和大約40升的氦氣（每分鐘），加熱的過程精確度非常重要。

材料：碳石墨基座

溫度：1200℃

應用：Ambrell15kw感應加熱器，水冷石英管，氦氣，4匝線圈

通過4英寸石英管每分鐘吹掃40升的氦氣

達到1200℃后保持45秒

可觀察到晶圓的產生

頻率：93khz