間接冷卻磁控管
間接冷卻磁控管在圓陰極的冷卻水和濺射靶材之間包含一個(gè)中間壁。該壁形成永久的水真空密封，防止目標(biāo)被“濺射”時(shí)可能發(fā)生的泄漏。
Angstrom Sciences?的 1“- 4” （25mm-100mm） 間接冷卻圓形磁控管包含一個(gè)螺紋靶夾和陽極屏蔽罩，可根據(jù)不同厚度的濺射靶材進(jìn)行調(diào)整。螺紋設(shè)計(jì)上的目標(biāo)更改既快速又簡單，不需要輔助工具或設(shè)備。
- 描述
此外，螺紋靶夾和陽極屏蔽層可形成一個(gè)緊湊的圓形磁控管頭。這使得 Angstrom Sciences 的圓形磁控管能夠安裝在狹窄的真空室中，并且與傳統(tǒng)磁控管的表面積相比，可以濺射更大的襯底。
間接冷卻磁控管推薦用于低功率應(yīng)用，是研究和開發(fā)應(yīng)用的理想工具。
有關(guān)間接冷卻磁控管的更多信息，在線聯(lián)系我們。
