高溫圓磁控管
對于需要襯底長時間暴露在高熱暴露下的應用，Angstrom Sciences?的高溫圓形磁控管采用陶瓷絕緣體和真空密封進行了優化，使陰極能夠在高溫條件下保持性能參數。高溫設計可在 200、300 和 450 攝氏度下運行。
- 描述
高溫圓形磁控管設計用于 10-9mTorr 系列，經過專門設計，可允許在整個熱循環過程中可能發生的變化，而不會出現泄漏或薄膜質量偏差。
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對于需要襯底長時間暴露在高熱暴露下的應用，Angstrom Sciences?的高溫圓形磁控管采用陶瓷絕緣體和真空密封進行了優化，使陰極能夠在高溫條件下保持性能參數。高溫設計可在 200、300 和 450 攝氏度下運行。
高溫圓形磁控管設計用于 10-9mTorr 系列，經過專門設計，可允許在整個熱循環過程中可能發生的變化，而不會出現泄漏或薄膜質量偏差。