美國Angstrom Sciences,ONYX? 磁控管,圓磁控管,間接冷卻磁控管


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美國Angstrom Sciences,ONYX? 磁控管,圓磁控管,間接冷卻磁控管

間接冷卻磁控管

間接冷卻磁控管在圓陰極的冷卻水和濺射靶材之間包含一個中間壁。該壁形成永久的水真空密封，防止目標被“濺射”時可能發生的泄漏。

Angstrom Sciences 的 1“- 4” （25mm-100mm） 間接冷卻圓形磁控管包含一個螺紋靶夾和陽極屏蔽罩，可根據不同厚度的濺射靶材進行調整。螺紋設計上的目標更改既快速又簡單，不需要輔助工具或設備。

此外，螺紋靶夾和陽極屏蔽層可形成一個緊湊的圓形磁控管頭。這使得 Angstrom Sciences 的圓形磁控管能夠安裝在狹窄的真空室中，并且與傳統磁控管的表面積相比，可以濺射更大的襯底。

間接冷卻磁控管推薦用于低功率應用，是研究和開發應用的理想工具。

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