美國(guó)Angstrom Sciences,ONYX? 磁控管,圓磁控管,高功率脈沖磁控濺射

美國(guó)Angstrom Sciences,ONYX? 磁控管,圓磁控管,高功率脈沖磁控濺射

Angstrom Sciences， Inc. 成立于 1988 年，為高質(zhì)量薄膜的等離子體氣相沉積提供先進(jìn)的磁控管和精制材料。該公司非常注重研發(fā)，很快就為磁性、水冷和圓形磁控管目標(biāo)夾緊設(shè)計(jì)方面的多項(xiàng)技術(shù)進(jìn)步申請(qǐng)了專利。Angstrom Advantage™ 的特點(diǎn)創(chuàng)造了薄膜行業(yè)中最先進(jìn)、最易于使用的磁控管。

高功率脈沖磁控濺射

高功率脈沖磁控濺射 （HIPIMS） 或高沖擊功率磁控濺射是通過(guò)利用高度可控的電源系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的，這些系統(tǒng)可以向濺射靶材提供短時(shí)間的高電流密度脈沖。

Angstrom Sciences 開(kāi)發(fā)了一系列濺射陰極，能夠維持大于 1500 Watts/in2 的連續(xù)脈沖功率密度。Angstrom Sciences 的高功率脈沖磁控濺射陰極在陽(yáng)極體和閥桿安裝中集成了兩個(gè)額外的冷卻通道，以在工藝操作期間保持最佳冷卻。

可以提供各種磁體陣列等其他功能，包括自動(dòng)可調(diào)設(shè)計(jì)，以在目標(biāo)壽命期間保持目標(biāo)表面的磁場(chǎng)強(qiáng)度一致。

HPP 設(shè)計(jì)中的磁性布置專門針對(duì)高功率磁性應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化。高功率脈沖磁控管直接冷卻，有圓形、線性和圓柱形設(shè)計(jì)。


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