美國Angstrom Sciences,ONYX? 磁控管,線性磁控管Linear Magnetron
Angstrom Sciences， Inc. 成立于 1988 年，為高質量薄膜的等離子體氣相沉積提供先進的磁控管和精制材料。該公司非常注重研發，很快就為磁性、水冷和圓形磁控管目標夾緊設計方面的多項技術進步申請了專利。Angstrom Advantage™ 的特點創造了薄膜行業中最先進、最易于使用的磁控管。
Linear Magnetron
專利優勢
Angstrom Sciences 的線性磁控管采用我們完全封裝的專利異形 NdFeB 稀土磁鐵，將磁場擴展到整個靶材表面，提高靶材利用率并最大限度地減少靶材表面的顆粒污染。我們所有的磁控濺射陰極也具有湍流水流功能，以提供最佳的熱傳遞，并最大限度地減少由于靶材表面的熱點引起的不均勻性。這些特性與整體工藝氣體入口、固體陽極壁和尖端材料的使用等功能一起，確保了濺射工藝無與倫比的性能和可靠性。
- 描述
隨著越來越多的行業發現磁控濺射的速度、可控性和底線性能，Angstrom Sciences 正在開發工具，以最大限度地提高這些更大、更快的制造工藝的產量。
更廣泛的解決方案
對于那些必須涂覆極寬基板或必須實現極高吞吐量的用戶，線性磁控管提供了完美的在線解決方案。
總功率兼容性
低阻抗頭提供 RF、DC、中頻 DC、脈沖 DC、HiPIMS 和微波電源兼容性。
標準配件
我們可以使用 ISO NW 標準配件、Conflat? 金屬密封法蘭或定制的 O 形圈密封法蘭進行安裝。所有公用設施通常保持在大氣中，并通過標準 O 形圈壓縮接頭進行接觸，以便于安裝在任何真空系統中。
久經考驗的性能
這些磁控管提供無與倫比的性能，使 Angstrom Sciences 成為行業標準。
在極低的壓力和極高的功率密度下運行，可在任何應用中為您提供均勻性、利用率和速率的完美平衡。
Going to any Length
Angstrom Sciences 線性陰極可提供從 1 英寸/25 毫米到 16 英寸/406 毫米的全系列靶材寬度，長度可達 185 英寸/4700 毫米。當然，我們完全有能力為您的任何生產需求設計和制造定制磁控管。
全面承諾
所有 Angstrom Sciences 的磁控管均享有整整兩年的工藝和材料質量保證。磁控管是我們的核心業務，我們隨時準備確保您滿意。
