美國Angstrom Sciences,ONYX? 磁控管,HiPIMS – 磁控濺射Angstrom Sciences

美國Angstrom Sciences,ONYX? 磁控管,HiPIMS – 磁控濺射

Angstrom Sciences, Inc. 成立于 1988 年,為高質量薄膜的等離子體氣相沉積提供先進的磁控管和精制材料。該公司非常注重研發,很快就為磁性、水冷和圓形磁控管目標夾緊設計方面的多項技術進步申請了專利。Angstrom Advantage™ 的特點創造了薄膜行業中最先進、最易于使用的磁控管。

HiPIMS – 磁控濺射

Angstrom Science 為其圓形和線性磁控管產品線開發了解決方案,允許磁場離散變化(通過內部安裝陰極的可互換磁體組)或連續變化(通過外部安裝陰極上的磁體組高度調整)。

HIPIMS 磁控管用于涂層沉積和具有高微觀結構密度的薄膜沉積前對基材進行預處理。

HIPIMS 濺射是高功率脈沖磁控濺射的縮寫。脈沖濺射的這一相對較新的進展使用非常高功率、短持續時間的脈沖來產生等離子體并電離大部分濺射原子。

事實證明,精確控制靶材表面的磁場強度對于 HIPIMS 工藝對于減少電弧和優化濺射材料的電離至關重要。

ONYX HIPIMS 陰極埃

 

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