Angstrom Sciences Circular Magnetron 圓形磁控管

Angstrom Sciences 的圓形磁控管已被公認為濺射行業(yè)的新標準，因為除了 Angstrom Advantage™ 的先進功能之外，它們還提供了許多其他性能優(yōu)勢。

多功能、緊湊的設(shè)計

其緊湊的設(shè)計使我們的圓形磁控管非常適合任何新的或改造應(yīng)用，包括用于最小真空室的最復(fù)雜的集群組件。

總功率兼容性

低阻抗頭提供射頻、直流、中頻直流、脈沖直流和微波功率兼容性。

標準接頭

我們使用 ISO NW 標準接頭以及 Conflat? 金屬密封法蘭。所有公用設(shè)施都保持在大氣中，并通過標準 O 形環(huán)壓縮配件進行訪問，以便在任何真空系統(tǒng)中輕松安裝。

各種尺寸

圓形磁控管源可提供標準或定制配置的 1″ (25mm) 至 16″ (406mm) 目標直徑。

快速、輕松的目標更改

我們獲得專利的螺紋目標夾和陽極護罩允許您在不使用輔助工具的情況下更換目標。它們內(nèi)置的可調(diào)節(jié)性還可以讓您適應(yīng)不同厚度的目標，而無需借助間隔裝置。

更低、壓力、高功率

ONYX? 磁控管可以在極低的壓力下運行（低至 10-4 Torr 范圍），我們的直接冷卻設(shè)計可以提供高達 250 瓦/英寸（30 瓦/平方厘米）的功率密度。

高速率和高性能

使用更高的功率密度，您可以更快地涂覆基材。因此，Angstrom Sciences 可以最大限度地提高您的涂層區(qū)域和目標利用率（通常在 40% 范圍內(nèi)），而無需權(quán)衡速率。

更大的一致性

由于我們獲得專利的異形磁鐵，我們的磁控管還可以提供更高的沉積均勻性 – 通常在 ± 3-5% 范圍內(nèi)。