Angstrom Sciences Magnet Mapping Kit 磁鐵測(cè)繪套件

磁體映射套件提供了一種測(cè)量磁控管磁場(chǎng)并將其與磁體陣列的原始圖進(jìn)行比較的方法。

可以提供磁體測(cè)繪套件，允許用戶(hù)測(cè)量其磁控管的場(chǎng)強(qiáng)，并確定磁體陣列是否有足夠的損壞或退化以保證更換。

隨著磁控濺射陰極中的磁場(chǎng)減弱，工作電壓和最低工作壓力會(huì)增加，從而對(duì)薄膜質(zhì)量和均勻性產(chǎn)生負(fù)面影響。

擁有磁性診斷工具將允許用戶(hù)確定過(guò)程偏移是由于磁控管還是其他原因。

磁體測(cè)繪套件由測(cè)繪板、高斯計(jì)和探頭組成。測(cè)繪板設(shè)計(jì)為安裝在濺射陰極上，并鉆有沉孔，以便可以在目標(biāo)表面獲取讀數(shù)。這樣可以實(shí)現(xiàn)一致的放置，并且可以將讀數(shù)與每個(gè) Angstrom Sciences 磁控濺射陰極提供的原始磁圖進(jìn)行比較。