Angstrom Sciences Magnet Mapping Kit 磁鐵測繪套件

磁體映射套件提供了一種測量磁控管磁場并將其與磁體陣列的原始圖進行比較的方法。

可以提供磁體測繪套件，允許用戶測量其磁控管的場強，并確定磁體陣列是否有足夠的損壞或退化以保證更換。

隨著磁控濺射陰極中的磁場減弱，工作電壓和最低工作壓力會增加，從而對薄膜質量和均勻性產生負面影響。

擁有磁性診斷工具將允許用戶確定過程偏移是由于磁控管還是其他原因。

磁體測繪套件由測繪板、高斯計和探頭組成。測繪板設計為安裝在濺射陰極上，并鉆有沉孔，以便可以在目標表面獲取讀數。這樣可以實現一致的放置，并且可以將讀數與每個 Angstrom Sciences 磁控濺射陰極提供的原始磁圖進行比較。