美國Angstrom Sciences,ONYX? 磁控管,圓柱形磁控管
Angstrom Sciences， Inc. 成立于 1988 年，為高質量薄膜的等離子體氣相沉積提供先進的磁控管和精制材料。該公司非常注重研發，很快就為磁性、水冷和圓形磁控管目標夾緊設計方面的多項技術進步申請了專利。Angstrom Advantage™ 的特點創造了薄膜行業中最先進、最易于使用的磁控管。
圓柱形磁控管
Angstrom Sciences 為幾乎所有標準濺射工藝提供最先進的磁控管。但我們知道每個應用程序都是不同的。因此，我們開發了一種獨特的模塊化方法，專門適應您的規格。
長期以來，圓柱形磁控管在玻璃鍍膜行業一直備受信賴，可在最大限度提高靶材利用率的同時形成均勻的薄膜。現在，Angstrom Sciences 創造了一種緊湊、輕便且經濟的圓柱形磁控管，專門設計用于平板顯示器、太陽能電池和卷筒紙涂層應用
- 描述
定制設計
使用直徑為 3 英寸（75 毫米）或 5 英寸（125 毫米）的背管，可使用長達 4 米的直接安裝和側面安裝的完整組件，并且具有最小的源到源間距，多個在線陣列可用于緊湊的高通量生產系統。
經濟且完全兼容的投資
ONYX-Revolution™ 采用通用且經濟高效的磁體設計，具有定制的周轉功能，以適應任何目標類型。而且，它采用現成的組件設計，可實現低成本、長期投資和可靠性。
專利技術
Angstrom Sciences 的專利異形磁體技術在源和襯底之間創造了更接近正常的沉積輪廓。改進的沉積輪廓減少了腔室壁上的碎屑堆積。
此外，Angstrom Sciences 的磁體陣列提供更高的磁場強度，允許用戶以較低的功率運行濺射工藝，以實現典型的沉積速率。
換算的儲蓄
從本質上講，圓柱形磁控管可以容納高達三倍于具有相同空間面積的平面磁控管的目標材料。Angstrom Sciences 的 ONYX-Revolution™ 進一步優化了材料投資，目標利用率高達 85%。此外，在較低功率水平下運行可節省 20% 的典型功耗。
全面承諾
Angstrom Sciences 致力于通過提供世界上最先進的磁控管、高質量的沉積材料和全面的技術支持，幫助我們的客戶開發最具生產力和成本效益的薄膜應用。我們隨時準備確保您滿意。
