美國Angstrom Sciences,ONYX? 磁控管,圓磁控管,高溫圓磁控管
高溫圓磁控管
對于需要襯底長時間暴露在高熱暴露下的應(yīng)用，Angstrom Sciences 的高溫圓形磁控管采用陶瓷絕緣體和真空密封進(jìn)行了優(yōu)化，使陰極能夠在高溫條件下保持性能參數(shù)。高溫設(shè)計可在 200、300 和 450 攝氏度下運行。
- 描述
高溫圓形磁控管設(shè)計用于 10-9mTorr 系列，經(jīng)過專門設(shè)計，可允許在整個熱循環(huán)過程中可能發(fā)生的變化，而不會出現(xiàn)泄漏或薄膜質(zhì)量偏差。
