磁體映射套件提供了一種測量磁控管磁場并將其與磁體陣列的原始分布圖進(jìn)行比較的方法。

可以提供磁成像套件，使用戶能夠測量磁控管的場強(qiáng)，并確定磁體陣列是否有足夠的損壞或退化以保證更換。

隨著磁控濺射陰極中的磁場減弱，工作電壓和最低工作壓力將增加，從而對薄膜質(zhì)量和均勻性產(chǎn)生負(fù)面影響。

擁有磁性診斷工具將允許用戶確定過程偏移是由于磁控管還是其他原因引起的。

磁成像套件由分布驗(yàn)證板、高斯計(jì)和探頭組成。映射板設(shè)計(jì)為適合濺射陰極，并鉆有沉頭孔，以便可以在目標(biāo)表面獲取讀數(shù)。這允許一致的放置，并且讀數(shù)可以與每個 Angstrom Sciences 磁控濺射陰極提供的原始磁圖進(jìn)行比較。