Angstromsciences圓柱形磁控濺射源、磁控管、磁控靶材
圓柱形磁控濺射源
Angstrom Sciences為幾乎所有標準濺射工藝提供尖端磁控管解決方案。我們深知每個應用場景的獨特性，因此開發(fā)出獨特的模塊化設(shè)計理念，精準適配您的個性化需求。
圓柱形磁控管長期備受玻璃鍍膜行業(yè)信賴，既能創(chuàng)造均勻薄膜又可實現(xiàn)靶材利用率最大化。如今，Angstrom Sciences推出緊湊型輕量化經(jīng)濟款圓柱磁控管，專為平板顯示器、太陽能電池和卷對卷鍍膜應用提供同等優(yōu)勢技術(shù)。
產(chǎn)品特性
定制化設(shè)計
提供插入式和側(cè)裝式完整組件，支持3英寸（75mm）或5英寸（125mm）背管直徑，長度可達四米。最小源間距多聯(lián)陣列配置，專為緊湊型高產(chǎn)能生產(chǎn)系統(tǒng)打造。
經(jīng)濟型全兼容投資
ONYX-Revolution™采用通用成本效益型磁體設(shè)計，搭配定制化轉(zhuǎn)向機構(gòu)適配各類靶材。全部采用標準現(xiàn)貨組件，確保低成本長期投資與可靠運行。
專利技術(shù)
Angstrom Sciences專利輪廓磁體技術(shù)產(chǎn)生更接近法向分布的沉積輪廓，有效減少腔室壁上的碎屑積累。
增強型磁陣列為用戶提供更高磁場強度，可在更低功率下實現(xiàn)標準沉積速率。
顯著效益提升
圓柱形磁控管在相同空間內(nèi)可容納三倍于平面磁控管的靶材量。ONYX-Revolution™進一步將靶材利用率提升至85%，配合較低功率運行 typically可節(jié)省20%能耗。
全程品質(zhì)承諾
Angstrom Sciences通過提供全球領(lǐng)先的磁控管、高質(zhì)量沉積材料和全面技術(shù)支持，助力客戶開發(fā)最高效、最經(jīng)濟的光學薄膜應用方案。我們始終致力于確保您的完全滿意。
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