Angstrom Sciences Cylindrical Magnetron 圓柱形磁控管

Angstrom Sciences 為幾乎所有標(biāo)準(zhǔn)濺射工藝提供最先進(jìn)的磁控管。但我們知道，每個應(yīng)用程序都是不同的。這就是為什么我們開發(fā)了一種獨(dú)特的模塊化方法，專門適應(yīng)您的規(guī)格。

圓柱形磁控管長期以來一直受到玻璃鍍膜行業(yè)的信賴，可以在最大限度地提高目標(biāo)利用率的同時創(chuàng)造均勻的薄膜。現(xiàn)在，Angstrom Sciences 創(chuàng)造了一種緊湊、輕便且經(jīng)濟(jì)的圓柱形磁控管，專門設(shè)計用于為平板顯示器、太陽能電池和網(wǎng)絡(luò)涂層應(yīng)用提供這些相同的優(yōu)勢

定制設(shè)計

可使用直徑為 3″ (75mm) 或 5″ (125mm) 的背管，長度可達(dá) 4 米，并且具有最小的源到源間距，可提供插入式和側(cè)面安裝的完整組件 多個串聯(lián)陣列可用于緊湊型高通量生產(chǎn)系統(tǒng)。

經(jīng)濟(jì)且完全兼容的投資

ONYX-Revolution™ 采用通用且具有成本效益的磁鐵設(shè)計和定制的周轉(zhuǎn)，以適應(yīng)任何目標(biāo)類型。而且，它采用現(xiàn)成的組件設(shè)計，以實現(xiàn)低成本、長期投資和可靠性。

專利技術(shù)

Angstrom Sciences 的專利異形磁體技術(shù)在源和基板之間創(chuàng)建了更接近正常的沉積輪廓。改進(jìn)的沉積輪廓減少了腔壁上的碎屑堆積。

此外，Angstrom Sciences 的磁體陣列提供更高的磁場強(qiáng)度，允許用戶以更低的功率運(yùn)行濺射工藝以實現(xiàn)典型的沉積速率。

轉(zhuǎn)換儲蓄

本質(zhì)上，圓柱形磁控管可以容納的目標(biāo)材料量是具有相同空間面積的平面磁控管的三倍。Angstrom Sciences 的 ONYX-Revolution™ 進(jìn)一步優(yōu)化了材料投資，目標(biāo)利用率高達(dá) 85%。此外，在較低功率水平下運(yùn)行可節(jié)省 20% 的典型功率。