AP Tech鋯鎢(ZrOW) 熱場(chǎng)發(fā)射器,Applied Physics Technologies熱場(chǎng)發(fā)射陰極(TFE)

熱場(chǎng)發(fā)射器（TFE）像熱離子發(fā)射器一樣被加熱，但也被電化學(xué)蝕刻以具有微觀上尖銳的尖端，類似于冷場(chǎng)發(fā)射器的方式。在操作過程中，由于發(fā)射器的銳度及其對(duì)抑制器的定向，在源尖端會(huì)產(chǎn)生非常高的電場(chǎng)。場(chǎng)對(duì)勢(shì)壘的降低和通過加熱提供給電子的熱能產(chǎn)生了能夠在非交叉模式（或虛擬源模式）下操作的源。因此，與熱離子發(fā)射器不同，TFE不受空間電荷限制，并且比典型的熱離子源亮幾個(gè)數(shù)量級(jí)。

APT現(xiàn)在提供鋯化鎢熱場(chǎng)發(fā)射器（ZrOW-TFE），俗稱肖特基源。ZrOW-TFE是電子束應(yīng)用的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)發(fā)射器，要求高亮度、提高空間分辨率、穩(wěn)定發(fā)射和長(zhǎng)壽命。我們的ZrOW源符合通用OEM性能規(guī)范和操作參數(shù)，可以使用定制的末端形狀（半徑）幾何形狀和任何發(fā)射極-基極/抑制器配置制造，包括FEI/Philips、Denka、Hitachi、JEOL或定制配置。