Applied Physics Technologies離子源,AP Tech CFE冷陰極,AP Tech冷場發射器
與熱離子和熱場發射器不同,CFE在室溫下工作。當電子響應于強電場的施加而發射時,就會發生場發射。為了實現這種高場,單晶鎢被蝕刻到顯微鏡下鋒利的尖端。CFE是非常高亮度的光源,因此在需要高電流密度和可以實現極高真空條件的應用中表現出色。
在APT,我們在內部種植和加工自己的單晶鎢。我們的蝕刻工藝可以根據客戶的要求進行定制,并受到嚴格控制,以確保質量和一致性。APT可以為CFE提供任何發射極-基極/抑制器配置,包括FEI/Philips、Denka、Hitachi、JEOL和自定義配置。
使用此圖表可比較我們的 TE、CFE 和 TFE 離子源的一般操作要求和性能規格。