美國 ARC 汞燈 Advanced Radiation Corporation 用于光刻的汞短弧燈
特點
- 光譜特性匹配光致抗蝕材料
- 經過特殊處理的電極，以確保電弧穩定性
- 改進處理以延長燈壽命和輻射輸出
- 新的裝配技術，以加強結構并提高機械可靠性
ADVANCED RADIATION CORPORATIONS為光致抗蝕劑設計的系列直流汞短弧燈代表了高強度紫外線光源的設計、制造和性能方面的最新技術。這些燈提供了與大多數現有光致抗蝕劑材料的感光度相對應的強烈輻射;這些燈滿足了當今精密電子行業集成電路經濟生產所需的弧穩定性和長壽命要求。
短弧燈的點源配置使這一系列燈非常適合光化學、熒光顯微鏡、微膠片放大、光學儀器和其他需要高強度紫外輻射的應用。
HSA-350型汞短弧燈光譜輻射
汞短弧燈物理尺寸
可選 HSA-200DC/HSA-350/HSA-500/HSA-200CB/HSA-200TAM/HSA-350TAM
