Applied Scientific Instrumentation,ASI,MS-8000 XY,自動(dòng)化平臺(tái)
關(guān)于MS-8000
MS-8000載物臺(tái)適用于大型工業(yè)檢測(cè)顯微鏡，如Nikon L200/300系列或Olympus MX51/61系列。開(kāi)放式框架允許透射光照明。載物臺(tái)可配備玻璃板插入物或各種大型載物臺(tái)插入物，包括用于半導(dǎo)體檢測(cè)的真空晶片卡盤。
DC伺服電機(jī)階段兼容小精密消隙齒輪頭電機(jī)或更大的正頭電機(jī)，速度更快。該平臺(tái)還兼容可選的高精度線性編碼器。
特征：
MS-8000功能
- 閉環(huán)DC伺服控制，實(shí)現(xiàn)精確定位和高度可重復(fù)聚焦
- XY操縱桿控制的寬動(dòng)態(tài)速度范圍
- 許多流行軟件包的成熟操作
規(guī)范：
標(biāo)準(zhǔn)配置的MS-2000規(guī)格
| x軸和Y軸行程范圍 | 200毫米x 200毫米 |
| x軸和Y軸分辨率(編碼器步長(zhǎng)) | 22納米 |
| x軸和Y軸均方根重復(fù)性 | < 700 nm |
| x軸和Y軸最大速度 | 7毫米/秒 |
| 最大推薦負(fù)載 (*根據(jù)要求可提供更高的負(fù)載) | 5公斤 |
*所示為6.35毫米螺距的絲杠
MS-8000線性編碼器選項(xiàng)：
| 軸 | 分辨率 | 精度 |
| XY | 10納米 | 每標(biāo)尺長(zhǎng)度3微米 |
Applied Scientific Instrumentation,ASI,MS-8000 XY,自動(dòng)化平臺(tái)
