MS-8000載物臺適用于大型工業檢測顯微鏡，如Nikon L200/300系列或Olympus MX51/61系列。開放式框架允許透射光照明。載物臺可配備玻璃板插入物或各種大型載物臺插入物，包括用于半導體檢測的真空晶片卡盤。
DC伺服電機階段兼容小精密消隙齒輪頭電機或更大的正頭電機，速度更快。該平臺還兼容可選的高精度線性編碼器。
特征：
MS-8000功能
- 閉環DC伺服控制，實現精確定位和高度可重復聚焦
- XY操縱桿控制的寬動態速度范圍
- 許多流行軟件包的成熟操作
規范：
標準配置的MS-2000規格
| x軸和Y軸行程范圍 | 200毫米x 200毫米 |
| x軸和Y軸分辨率(編碼器步長) | 22納米 |
| x軸和Y軸均方根重復性 | < 700 nm |
| x軸和Y軸最大速度 | 7毫米/秒 |
| 最大推薦負載 (*根據要求可提供更高的負載) | 5公斤 |
*所示為6.35毫米螺距的絲杠
MS-8000線性編碼器選項：
| 軸 | 分辨率 | 精度 |
| XY | 10納米 | 每標尺長度3微米 |
Applied Scientific Instrumentation,ASI,MS-8000 XY,自動化平臺
