Beam Imaging新型磁屏蔽FC-1法拉第杯

Beam Imaging介紹了新型磁屏蔽FC-1法拉第杯。這款小巧易用的系統(tǒng)可連接到標(biāo)準(zhǔn)的2.75英寸(69.8毫米)conflat端口。FC-1旨在通過使用磁場過濾掉可能進(jìn)入杯中的電子來精確測量離子源的初級正離子束電流?？梢酝ㄟ^移除過濾磁鐵來測量電子束。對于離子束來說，法拉第杯收集器被輕微地正向偏置，以抑制二次電子發(fā)射，并且還拒絕由與一次離子束和背景氣體原子的電荷交換碰撞產(chǎn)生的低能離子。用連接到50歐姆BNC真空饋通的靜電計測量束流。法拉第杯底部的屏蔽裙可防止靜電計測量到未通過杯孔進(jìn)入的電子或離子電流，并防止將收集器與地隔離的陶瓷濺射。法拉第杯也可單獨(dú)購買，帶有UHV兼容同軸電纜，用于需要遠(yuǎn)程束流測量的應(yīng)用。

電子濾波和二次電子抑制

許多離子束系統(tǒng)結(jié)合離子源使用電子源來中和在靶上積累的離子電荷，并最小化由于離子的空間電荷引起的離子束擴(kuò)散。電子也存在于真空室中，來自電離真空計和來自離子束與真空系統(tǒng)中部件的表面散射的二次電子發(fā)射。為了過濾來自法拉第杯內(nèi)部離子收集器的這些電子，在法拉第杯入口處使用了一對永久磁鐵。這些磁鐵在杯子入口建立了一個磁場，捕獲并阻止電子進(jìn)入杯子。通過向收集器施加小的正偏壓，通過與一次離子束碰撞而在收集器處產(chǎn)生的二次電子被吸回到收集器。

Faraday Filter

 

低能離子過濾

當(dāng)一次離子與背景氣體原子碰撞時，產(chǎn)生低能離子。在這種非彈性碰撞過程中，離子的電荷和大部分動能被轉(zhuǎn)移到氣體原子(電荷交換),留下的合成離子的動能比原來的一次離子少得多。通過將收集器偏置到比排斥進(jìn)入的一次離子束所需的電勢小得多的正電勢，低能電荷交換離子可以在收集器處被排斥，并被排斥到法拉第杯室的接地壁。低能離子對總的一次離子束電流的貢獻(xiàn)通常非常小，但是隨著背景氣壓和法拉第杯到離子源的距離而變化，并且可能對真實(shí)的一次離子束電流引入顯著的誤差。

Faraday Filter

Aperture0.25″ (6.35mm)
InputMax. 2W continuous
Max Operating Temperature350C
Flange Mount2.75″ (69.8mm) conflat flange mount
Feedthrough50 Ohm, BNC
GroundingFaraday Cup Housing and shield is grounded to conflat flange in standard form
VacuumUHV compatible to 1E-10 torr
模型FC-1/LF Faraday Cup, FC-1 Faraday Cup, FC-1/OPT01 Faraday Cup, FC-1/OPT02 Graphite Insert for Collector, FC-1/OPT03 Flexible Shielded wire assembly
  • OPT01，法拉第杯，帶UHV兼容同軸電纜和饋通組件

Faraday Cup

  • OPT02，光圈:客戶指定
  • OPT03，收集器:石墨插件

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