德國Bernhard Halle Nachfl GmbH 反射鏡和拋光板 反射鏡 球面凹面鏡基板 SHD4.020 SHZ1.020

反射鏡和拋光板

具有平面或球面的反射鏡和板是大多數光學裝置的基本部分。鏡子用來使光束偏轉或聚焦。拋光板可以用作窗戶、分束器或標準子。

下面介紹了決定反射鏡和反射板質量的一些重要參數。

外形偏差

形狀偏差公差定義了實際表面相對于理想形狀(平面或球體)的允許差值。在光學中,公差通常以波長λ為單位(例如λ/4)。要將此規格轉換為長度單位,必須知道參考波長λref。除非另有說明(d.h. λ/10 entspright 54,6 nm),本目錄中的規格均參考波長為λrefnm。

形狀偏差規范的另一個參數是用來評估測量數據的方法。在這方面,極值的差值(峰-谷,PV)和偏差的二次平均(均方根,RMS)是常用的。在計算PV值時,只考慮偏差最大的位置,而RMS值表征了整個表面的平均偏差。這兩種值都有其使用動機。除非另有說明,否則在本目錄中為PV偏差指定的值。雖然在PV和RMS偏差之間沒有一般的關系,但對于實際發生的大多數表面,可以假設RMS偏差比PV值低3-5倍。例如,λ/10 (PV)對應λ/30-λ/50 (RMS)。

本目錄中指定的表格偏差至少適用于90%的區域。元素外部尺寸的95%)。如果只使用光圈的一個較小的部分,相應的形狀偏差將大大降低。

微粗糙度

微粗糙度描述的是表面與橫向尺寸的偏差已達到或更低的波長(i.e. typ. <1μm)。這些偏差主要是造成散射光的原因。

微粗糙度通常由表面偏差的二次平均Rq來表示。我們車間使用的拋光技術可以得到?Rq?<1nm (typ. Rq?<0,5 nm).

 

球面凹面鏡基板

基板用于制造凹面鏡。

我們提供硼硅酸鹽玻璃(Duran)或玻璃陶瓷(Zerodur)基板。Duran是更經濟的版本,其表面偏差為λ/4和λ/10。Zerodur具有較低的熱膨脹系數,這使得該材料適用于表面偏差更低的反射鏡(λ/10和λ/20)。

凹面鏡的價格適用于1:10到1:3的孔徑比(直徑比焦距)??尚械慕咕嘤煽捎玫陌霃焦ぞ叽_定。

基材本身不涂覆。要用作高反射鏡,必須涂上適合所需波長范圍的涂層。

球面凹面鏡基板產品規格

materialDuranZerodur
flatness<λ/4 othe <λ/10<λ/10 othe <λ/20
coefficient of thermal expansion3·10-6/K<0,15·10-6/K
rear and edge surfacefine ground (opaque)fine ground (opaque)

球面凹面鏡基板標準尺寸

Diameter mmthickness mmArt. No. λ/4 DuranArt. No. λ/10 DuranArt. No. λ/10 ZerodurArt. No. λ/20 Zerodur
102SHD 4.010SHD 1.010SHZ 1.010SHZ 2.010
203SHD 4.020SHD 1.020SHZ 1.020SHZ 2.020
254SHD 4.025SHD 1.025SHZ 1.025SHZ 2.025
304SHD 4.030SHD 1.030SHZ 1.030SHZ 2.030
405SHD 4.040SHD 1.040SHZ 1.040SHZ 2.040
507SHD 4.050SHD 1.050SHZ 1.050SHZ 2.050
608SHD 4.060SHD 1.060SHZ 1.060SHZ 2.060
7010SHD 4.070SHD 1.070SHZ 1.070SHZ 2.070
8012SHD 4.080SHD 1.080SHZ 1.080SHZ 2.080
10015SHD 4.100SHD 1.100SHZ 1.100SHZ 2.100
12016SHD 4.120SHD 1.120SHZ 1.120SHZ 2.120
15020SHD 4.150SHD 1.150SHZ 1.150SHZ 2.150
18024SHD 4.180SHD 1.180SHZ 1.180SHZ 2.180
20027SHD 4.200SHD 1.200SHZ 1.200SHZ 2.200
25033SHD 4.250SHD 1.250SHZ 1.250SHZ 2.250

 

Duran曲面偏差λ/4產品編碼

SHD 4.020
SHD 4.025
SHD 4.030
SHD 4.040
SHD 4.050
SHD 4.060
SHD 4.070
SHD 4.080
SHD 4.100
SHD 4.120
SHD 4.150
SHD 4.180
SHD 4.200
SHD 4.250

 

Duran曲面偏差λ/10產品編碼

SHD 1.020
SHD 1.025
SHD 1.030
SHD 1.040
SHD 1.050
SHD 1.060
SHD 1.070
SHD 1.080
SHD 1.100
SHD 1.120
SHD 1.150
SHD 1.180
SHD 1.200
SHD 1.250

 

Zerodur表面偏差λ/10產品編碼

SHZ 1.020
SHZ 1.025
SHZ 1.030
SHZ 1.040
SHZ 1.050
SHZ 1.060
SHZ 1.070
SHZ 1.080
SHZ 1.100
SHZ 1.120
SHZ 1.150
SHZ 1.180
SHZ 1.200
SHZ 1.250

 

Zerodur表面偏差λ/20產品編碼

SHZ 2.020
SHZ 2.025
SHZ 2.030
SHZ 2.040
SHZ 2.050
SHZ 2.060
SHZ 2.070
SHZ 2.080
SHZ 2.100
SHZ 2.120
SHZ 2.150
SHZ 2.180
SHZ 2.200
SHZ 2.250


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