反射鏡和拋光板
具有平面或球面的反射鏡和板是大多數光學裝置的基本部分。鏡子用來使光束偏轉或聚焦。拋光板可以用作窗戶、分束器或標準子。
下面介紹了決定反射鏡和反射板質量的一些重要參數。
外形偏差
形狀偏差公差定義了實際表面相對于理想形狀(平面或球體)的允許差值。在光學中,公差通常以波長λ為單位(例如λ/4)。要將此規格轉換為長度單位,必須知道參考波長λref。除非另有說明(d.h. λ/10 entspright 54,6 nm),本目錄中的規格均參考波長為λrefnm。
形狀偏差規范的另一個參數是用來評估測量數據的方法。在這方面,極值的差值(峰-谷,PV)和偏差的二次平均(均方根,RMS)是常用的。在計算PV值時,只考慮偏差最大的位置,而RMS值表征了整個表面的平均偏差。這兩種值都有其使用動機。除非另有說明,否則在本目錄中為PV偏差指定的值。雖然在PV和RMS偏差之間沒有一般的關系,但對于實際發生的大多數表面,可以假設RMS偏差比PV值低3-5倍。例如,λ/10 (PV)對應λ/30-λ/50 (RMS)。
本目錄中指定的表格偏差至少適用于90%的區域。元素外部尺寸的95%)。如果只使用光圈的一個較小的部分,相應的形狀偏差將大大降低。
微粗糙度
微粗糙度描述的是表面與橫向尺寸的偏差已達到或更低的波長(i.e. typ. <1μm)。這些偏差主要是造成散射光的原因。
微粗糙度通常由表面偏差的二次平均Rq來表示。我們車間使用的拋光技術可以得到?Rq?<1nm (typ. Rq?<0,5 nm).
球面凹面鏡基板
基板用于制造凹面鏡。
我們提供硼硅酸鹽玻璃(Duran)或玻璃陶瓷(Zerodur)基板。Duran是更經濟的版本,其表面偏差為λ/4和λ/10。Zerodur具有較低的熱膨脹系數,這使得該材料適用于表面偏差更低的反射鏡(λ/10和λ/20)。
凹面鏡的價格適用于1:10到1:3的孔徑比(直徑比焦距)??尚械慕咕嘤煽捎玫陌霃焦ぞ叽_定。
基材本身不涂覆。要用作高反射鏡,必須涂上適合所需波長范圍的涂層。
球面凹面鏡基板產品規格
material | Duran | Zerodur |
flatness | <λ/4 othe <λ/10 | <λ/10 othe <λ/20 |
coefficient of thermal expansion | 3·10-6/K | <0,15·10-6/K |
rear and edge surface | fine ground (opaque) | fine ground (opaque) |
球面凹面鏡基板標準尺寸
Diameter mm | thickness mm | Art. No. λ/4 Duran | Art. No. λ/10 Duran | Art. No. λ/10 Zerodur | Art. No. λ/20 Zerodur |
10 | 2 | SHD 4.010 | SHD 1.010 | SHZ 1.010 | SHZ 2.010 |
20 | 3 | SHD 4.020 | SHD 1.020 | SHZ 1.020 | SHZ 2.020 |
25 | 4 | SHD 4.025 | SHD 1.025 | SHZ 1.025 | SHZ 2.025 |
30 | 4 | SHD 4.030 | SHD 1.030 | SHZ 1.030 | SHZ 2.030 |
40 | 5 | SHD 4.040 | SHD 1.040 | SHZ 1.040 | SHZ 2.040 |
50 | 7 | SHD 4.050 | SHD 1.050 | SHZ 1.050 | SHZ 2.050 |
60 | 8 | SHD 4.060 | SHD 1.060 | SHZ 1.060 | SHZ 2.060 |
70 | 10 | SHD 4.070 | SHD 1.070 | SHZ 1.070 | SHZ 2.070 |
80 | 12 | SHD 4.080 | SHD 1.080 | SHZ 1.080 | SHZ 2.080 |
100 | 15 | SHD 4.100 | SHD 1.100 | SHZ 1.100 | SHZ 2.100 |
120 | 16 | SHD 4.120 | SHD 1.120 | SHZ 1.120 | SHZ 2.120 |
150 | 20 | SHD 4.150 | SHD 1.150 | SHZ 1.150 | SHZ 2.150 |
180 | 24 | SHD 4.180 | SHD 1.180 | SHZ 1.180 | SHZ 2.180 |
200 | 27 | SHD 4.200 | SHD 1.200 | SHZ 1.200 | SHZ 2.200 |
250 | 33 | SHD 4.250 | SHD 1.250 | SHZ 1.250 | SHZ 2.250 |
Duran曲面偏差λ/4產品編碼
SHD 4.020
SHD 4.025
SHD 4.030
SHD 4.040
SHD 4.050
SHD 4.060
SHD 4.070
SHD 4.080
SHD 4.100
SHD 4.120
SHD 4.150
SHD 4.180
SHD 4.200
SHD 4.250
Duran曲面偏差λ/10產品編碼
SHD 1.020
SHD 1.025
SHD 1.030
SHD 1.040
SHD 1.050
SHD 1.060
SHD 1.070
SHD 1.080
SHD 1.100
SHD 1.120
SHD 1.150
SHD 1.180
SHD 1.200
SHD 1.250
Zerodur表面偏差λ/10產品編碼
SHZ 1.020
SHZ 1.025
SHZ 1.030
SHZ 1.040
SHZ 1.050
SHZ 1.060
SHZ 1.070
SHZ 1.080
SHZ 1.100
SHZ 1.120
SHZ 1.150
SHZ 1.180
SHZ 1.200
SHZ 1.250
Zerodur表面偏差λ/20產品編碼
SHZ 2.020
SHZ 2.025
SHZ 2.030
SHZ 2.040
SHZ 2.050
SHZ 2.060
SHZ 2.070
SHZ 2.080
SHZ 2.100
SHZ 2.120
SHZ 2.150
SHZ 2.180
SHZ 2.200
SHZ 2.250