反射鏡和拋光板

具有平面或球面的反射鏡和板是大多數(shù)光學(xué)裝置的基本部分。鏡子用來(lái)使光束偏轉(zhuǎn)或聚焦。拋光板可以用作窗戶、分束器或標(biāo)準(zhǔn)子。

下面介紹了決定反射鏡和反射板質(zhì)量的一些重要參數(shù)。

外形偏差

形狀偏差公差定義了實(shí)際表面相對(duì)于理想形狀(平面或球體)的允許差值。在光學(xué)中，公差通常以波長(zhǎng)λ為單位(例如λ/4)。要將此規(guī)格轉(zhuǎn)換為長(zhǎng)度單位，必須知道參考波長(zhǎng)λref。除非另有說(shuō)明(d.h. λ/10 entspright 54,6 nm)，本目錄中的規(guī)格均參考波長(zhǎng)為λrefnm。

形狀偏差規(guī)范的另一個(gè)參數(shù)是用來(lái)評(píng)估測(cè)量數(shù)據(jù)的方法。在這方面，極值的差值(峰-谷，PV)和偏差的二次平均(均方根，RMS)是常用的。在計(jì)算PV值時(shí)，只考慮偏差最大的位置，而RMS值表征了整個(gè)表面的平均偏差。這兩種值都有其使用動(dòng)機(jī)。除非另有說(shuō)明，否則在本目錄中為PV偏差指定的值。雖然在PV和RMS偏差之間沒(méi)有一般的關(guān)系，但對(duì)于實(shí)際發(fā)生的大多數(shù)表面，可以假設(shè)RMS偏差比PV值低3-5倍。例如，λ/10 (PV)對(duì)應(yīng)λ/30-λ/50 (RMS)。

本目錄中指定的表格偏差至少適用于90%的區(qū)域。元素外部尺寸的95%)。如果只使用光圈的一個(gè)較小的部分，相應(yīng)的形狀偏差將大大降低。

微粗糙度

微粗糙度描述的是表面與橫向尺寸的偏差已達(dá)到或更低的波長(zhǎng)(i.e. typ. <1μm)。這些偏差主要是造成散射光的原因。

微粗糙度通常由表面偏差的二次平均Rq來(lái)表示。我們車間使用的拋光技術(shù)可以得到?R_q?<1nm (typ. R_q?<0,5 nm).

球面凹面鏡基板

基板用于制造凹面鏡。

我們提供硼硅酸鹽玻璃(Duran)或玻璃陶瓷(Zerodur)基板。Duran是更經(jīng)濟(jì)的版本，其表面偏差為λ/4和λ/10。Zerodur具有較低的熱膨脹系數(shù)，這使得該材料適用于表面偏差更低的反射鏡(λ/10和λ/20)。

凹面鏡的價(jià)格適用于1:10到1:3的孔徑比(直徑比焦距)。可行的焦距由可用的半徑工具確定。

基材本身不涂覆。要用作高反射鏡，必須涂上適合所需波長(zhǎng)范圍的涂層。

球面凹面鏡基板產(chǎn)品規(guī)格

球面凹面鏡基板標(biāo)準(zhǔn)尺寸

Duran曲面偏差λ/4產(chǎn)品編碼

SHD 4.020
SHD 4.025
SHD 4.030
SHD 4.040
SHD 4.050
SHD 4.060
SHD 4.070
SHD 4.080
SHD 4.100
SHD 4.120
SHD 4.150
SHD 4.180
SHD 4.200
SHD 4.250

Duran曲面偏差λ/10產(chǎn)品編碼

SHD 1.020
SHD 1.025
SHD 1.030
SHD 1.040
SHD 1.050
SHD 1.060
SHD 1.070
SHD 1.080
SHD 1.100
SHD 1.120
SHD 1.150
SHD 1.180
SHD 1.200
SHD 1.250

Zerodur表面偏差λ/10產(chǎn)品編碼

SHZ 1.020
SHZ 1.025
SHZ 1.030
SHZ 1.040
SHZ 1.050
SHZ 1.060
SHZ 1.070
SHZ 1.080
SHZ 1.100
SHZ 1.120
SHZ 1.150
SHZ 1.180
SHZ 1.200
SHZ 1.250

Zerodur表面偏差λ/20產(chǎn)品編碼

SHZ 2.020
SHZ 2.025
SHZ 2.030
SHZ 2.040
SHZ 2.050
SHZ 2.060
SHZ 2.070
SHZ 2.080
SHZ 2.100
SHZ 2.120
SHZ 2.150
SHZ 2.180
SHZ 2.200
SHZ 2.250