離子槍系統 G-1和G-1-D型離子槍 G-2和G-2-D型離子槍


帶液體冷卻電磁體的G-2型可烘烤離子槍

G-1型不可烘烤離子槍。

Beam Imaging SolutionsBIS提供兩種離子槍系統。每個噴槍均包括離子源組件,散熱器,加速和聚焦系統,垂直偏轉板,6英寸長速度過濾器和速度過濾器保護環控制單元。組件組裝在配有法蘭的真空外殼中,以便安裝到客戶的設備上。防護環控制單元可以安裝在標準的19英寸機架面板中。如果需要,可以訂購定制法蘭和其他端口。當噴槍需要使用光束減速器時,隨附一個轉接法蘭(G-1-DG-2-D型離子槍)。Beam Imaging還提供控制單元(E系列)適用于上述離子槍系統。控制單元包括操作離子槍所需的所有電源,以及用于離子源和真空計控制的冷卻單元。所有離子束組件也可單獨購買或成套購買(離子源,散熱器,速度濾鏡,提取和聚焦透鏡系統)。這些完整的套件稱為離子束套件。

G-1和G-1-D型離子槍(不可烘烤)

G-1型可以在500 eV至10 keV的能量范圍內運行(可選20keV)。如果需要的離子束能量小于500 eV,我們建議使用G-1-D型,其中包括400型減速器,并可以產生質量選定的能量低至1 eV的離子束。G-1系列的真空外殼由拋光的不銹鋼管制成,直徑為6英寸,長約19英寸。該長度包括500型絕緣子安裝法蘭。與400型減速器一起使用時,G-1-D的總長度為23 1/8“。兩個離子槍外殼均配有6英寸ID的粗加工端口。G-1和G-1-D型號的標準出口法蘭是8“ OD和6” ID內徑平法蘭。但是,與減速器一起使用時,G-1-D型具有2 3/4“出口法蘭。-7托,不適用于烘烤。

G-2和G-2-D型離子槍(可烘烤)

G-2和G-2-D離子槍均設計為在500 eV至10 keV(可選20keV)的能量范圍內運行。但是,帶有可選400型減速器的G-2-D離子槍可以在1 eV的電壓下使用。G-1和G-2系列離子槍之間有兩個區別。G-2離子槍設計為可烘烤至200?o?C,可與超高真空(UHV)系統一起使用。速度濾波器上的電磁線圈被封裝在不銹鋼外套中,并被液體冷卻,從而允許更高的電流和磁場強度。BIS建議使用CU-1冷卻裝置進行磁體和離子源冷卻。G-2和G-2-D的尺寸分別與G-1和G-1-D相同。G-2和G-2-D的設計都非常適合在10?-9托的真空條件下使用。


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