Beam Imaging Solutions 450離子束減速器 450-L減速器可與減速鏡系統一起使用

Beam Imaging Solutions公司推出了新型450離子束減速器,用于產生高電流,低能量的離子束。該減速器旨在通過最大透鏡元件將離子束散射降至最低來增加低能離子束電流,并且在減速之前還允許更高的初始離子束能量。


450-L型鏡頭系統

450型減速器
?可用在真空外殼中,帶有兩個可旋轉的8“扁平法蘭和兩個2.75”扁平端口用于電氣連接。外殼長6.750英寸(171.45毫米)。

上面的性能曲線是通過使用10mm直徑的收集器從減速器的出口大約2.5cm處測量Ar +束流產生的。在高達5keV的初始Ar +離子能量下測量了性能,但減速器設計用于高達10keV的光束。為了進行這些測量,將減速器安裝在帶有RFIS-100的Beam Imaging Solutions?G-2離子槍系統出口的12英寸(30厘米)處。離子源。將靶/集電極浮動到離子束阻滯電位。通過測量初始離子能量(加速電勢)和延遲電勢之間的差來計算最終離子束能量。如果目標必須保持在接地電位,則離子槍電極可以浮動到負加速電位,最大浮動電位為-1kV。下面顯示了具有1 keV的一次離子束的束性能曲線。

減速器可與減速鏡系統一起使用(450-L型)


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