Beam Imaging Solutions（BIS）展示了新型RFIS-100離子源組件。RFIS-100設(shè)計為可改裝為標準型號G-1和G-2離子槍加速器系統(tǒng)。離子源使用13.56 MHz的RF電源供電，并帶有手動調(diào)整匹配網(wǎng)絡(luò)，以產(chǎn)生電感耦合等離子體（ICP）。與標準Colutron熱陰極DC放電源相比，RF離子源具有許多優(yōu)勢，包括維護之間的工作時間更長，尤其是使用氧氣和反應(yīng)性氣體時，而且維護電流更高。除了能夠從氣體中產(chǎn)生離子之外，新的離子源還具有通過在放電室中用金屬靶濺射源氣體來產(chǎn)生金屬離子的附加功能。尚未擁有Colutron離子槍的客戶可以購買新的離子源，以適合他們自己的離子加速器系統(tǒng)。擁有Colutron離子槍的客戶將從離子槍上卸下標準的Colutron DC離子源和散熱器組件，然后將RF離子源直接連接到Colutron 500型絕緣子法蘭上。射頻源不需要Colutron散熱器運行。

離子源成分	RFIS-101離子源組裝
帶屏蔽的RFIS-100	帶匹配網(wǎng)絡(luò)的RFIS-100

組成

1.?RFIS-101離子源組件（請參見上圖）。為了最大程度地減少停機時間，可以使用可能需要清潔和/或維修的二手設(shè)備快速更換新的RFIS-101組件。

2.?RFIS-007離子源法蘭。源法蘭具有兩個用于RF天線的VCR水饋通連接，以及用于可選濺射目標連接的50 ohm BNC連接，以及用于電啟動電路的12kV高壓饋通。

3.?RFIS-010氣體隔離器。為防止等離子體短路到離子源法蘭，已采用了特殊設(shè)計的高壓氣體斷路器，可實現(xiàn)高達10kV的隔離。氣體隔離器通過1/8“ swagelok接頭連接到RFIS-007離子源法蘭。

3.?RFMB-100 MRF火柴盒。RF Match盒中裝有適當調(diào)諧RF天線所需的高電流和高壓真空可變電容器，以及源操作所需的氣體，水和電氣連接。火柴盒還裝有新的高壓電弧電源，可通過簡單的電按鈕啟動離子源等離子體。

4.?RFMB-200高壓安全外殼。RFIS-100封裝還包括一個有機玻璃外殼，以確保在離子源高壓操作期間的操作員安全。機箱中裝有風(fēng)扇，以提供離子源的額外冷卻。