主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)
DVIA-MO系列提供卓越的隔振性能
DVIA-MO系列將先進(jìn)的DVIA-M主動(dòng)隔振系統(tǒng)與高性能光學(xué)平臺(tái)相結(jié)合,為光子學(xué)、激光及光譜技術(shù)打造絕對(duì)受控的隔振環(huán)境,尤其滿足5Hz以下低頻隔振的嚴(yán)苛要求。
特征
1.亞赫茲隔振性能
DVIA-MO 系列嵌入了最先進(jìn)的主動(dòng)振動(dòng)控制算法,可在六個(gè)自由度下提供 1 Hz 時(shí) 50% – 80% 的隔振效果,在 2 Hz 時(shí)提供 90% 的隔振效果。
2.超剛性光學(xué)平臺(tái)
我們的光學(xué)平臺(tái)經(jīng)久耐用,設(shè)計(jì)得盡可能堅(jiān)硬,以最大限度地減少安裝在光學(xué)平臺(tái)上的現(xiàn)有光學(xué)元件之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。

3.反饋和饋送控制算法
DVIA 系列使用反饋控制算法連續(xù)檢測(cè)干擾隔離表面的振動(dòng),并立即做出反應(yīng)以實(shí)時(shí)減少振動(dòng)。DVIA 系列采用前饋控制算法,在地板振動(dòng)傳遞到安裝在主動(dòng)隔振系統(tǒng)上的設(shè)備之前,提前過(guò)濾掉地板振動(dòng)。

4.所有六個(gè)自由度的主動(dòng)隔振
DVIA 系列控制三個(gè)平移度(X、Y 和 Z)和三個(gè)旋轉(zhuǎn)度(俯仰、滾動(dòng)和偏航)的振動(dòng)。

性能
??1Hz頻段:50-80%振動(dòng)隔離率
??≥2Hz頻段:≥90%振動(dòng)隔離率
規(guī)格
型號(hào) | DVIA-MO1000 | DVIA-MO3000 | DVIA-MO6000 | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
平臺(tái)尺寸(長(zhǎng) x 寬 x 高) | 定制 | ||||||||
負(fù)載能力 | 500 – 1700 公斤 | 1500 – 3500 公斤 | 3000 – 6000 公斤 | ||||||
驅(qū)動(dòng)器 | 電磁執(zhí)行器 | ||||||||
最大執(zhí)行器力 | 垂直: 40 N, 水平: 20 N | 垂直: 80 N, 水平: 40 N | |||||||
自由度 | 6 度 | ||||||||
有源隔離范圍 | 0.5 – 100 赫茲 | ||||||||
1 Hz 時(shí)的隔振 | 50 – 80% | ||||||||
≥ 2 h 時(shí)的隔振 | ≥ 90% | ||||||||
輸入電壓 (V) | AC100 – 240V / 50 – 60 赫茲 / 1A | ||||||||
功耗 (W) | 最大 110W,正常運(yùn)行時(shí) <50 W | ||||||||
工作范圍 | 溫度 (°C) | 5 – 50 °C | |||||||
濕度 (%) | 20 – 90% | ||||||||
所需氣壓 | ≥ 0.5 MPa (5 巴) |
應(yīng)用
- 光子學(xué)與激光技術(shù)
- 全息成像技術(shù)
- 光譜分析技術(shù)
- 納米級(jí)分辨率顯微技術(shù)
- 其他需要1Hz頻率下≥90%隔振性能的高精密應(yīng)用