韓國(guó)DAEIL SYSTEMS DVIA-MO系列主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái) 專為超精密光學(xué)實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)

主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)

DVIA-MO系列提供卓越的隔振性能

DVIA-MO系列將先進(jìn)的DVIA-M主動(dòng)隔振系統(tǒng)與高性能光學(xué)平臺(tái)相結(jié)合,為光子學(xué)、激光及光譜技術(shù)打造絕對(duì)受控的隔振環(huán)境,尤其滿足5Hz以下低頻隔振的嚴(yán)苛要求。

特征

1.亞赫茲隔振性能

DVIA-MO 系列嵌入了最先進(jìn)的主動(dòng)振動(dòng)控制算法,可在六個(gè)自由度下提供 1 Hz 時(shí) 50% – 80% 的隔振效果,在 2 Hz 時(shí)提供 90% 的隔振效果。

DVIA-MO-Superior-Vibration-Isolation-Performance

2.超剛性光學(xué)平臺(tái)

我們的光學(xué)平臺(tái)經(jīng)久耐用,設(shè)計(jì)得盡可能堅(jiān)硬,以最大限度地減少安裝在光學(xué)平臺(tái)上的現(xiàn)有光學(xué)元件之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。

DVIA-MO-Super-Rigid-Optical-Table

3.反饋和饋送控制算法

DVIA 系列使用反饋控制算法連續(xù)檢測(cè)干擾隔離表面的振動(dòng),并立即做出反應(yīng)以實(shí)時(shí)減少振動(dòng)。DVIA 系列采用前饋控制算法,在地板振動(dòng)傳遞到安裝在主動(dòng)隔振系統(tǒng)上的設(shè)備之前,提前過(guò)濾掉地板振動(dòng)。

Feedback & Feedfoward <br />Control Algorithm

4.所有六個(gè)自由度的主動(dòng)隔振

DVIA 系列控制三個(gè)平移度(X、Y 和 Z)和三個(gè)旋轉(zhuǎn)度(俯仰、滾動(dòng)和偏航)的振動(dòng)。

DVIA-M-Absolute-Control-of-Vibrations-in-All-Six-Degrees-of-Freedom

性能

??1Hz頻段:50-80%振動(dòng)隔離率
??≥2Hz頻段:≥90%振動(dòng)隔離率

DVIA-MO-Performance

規(guī)格

型號(hào)DVIA-MO1000DVIA-MO3000DVIA-MO6000
平臺(tái)尺寸(長(zhǎng) x 寬 x 高)定制
負(fù)載能力500 – 1700 公斤1500 – 3500 公斤3000 – 6000 公斤
驅(qū)動(dòng)器電磁執(zhí)行器
最大執(zhí)行器力垂直: 40 N, 水平: 20 N垂直: 80 N, 水平: 40 N
自由度6 度
有源隔離范圍0.5 – 100 赫茲
1 Hz 時(shí)的隔振50 – 80%
≥ 2 h 時(shí)的隔振≥ 90%
輸入電壓 (V)AC100 – 240V / 50 – 60 赫茲 / 1A
功耗 (W)最大 110W,正常運(yùn)行時(shí) <50 W
工作范圍溫度 (°C)5 – 50 °C
濕度 (%)20 – 90%
所需氣壓≥ 0.5 MPa (5 巴)

應(yīng)用

  1. 光子學(xué)與激光技術(shù)
  2. 全息成像技術(shù)
  3. 光譜分析技術(shù)
  4. 納米級(jí)分辨率顯微技術(shù)
  5. 其他需要1Hz頻率下≥90%隔振性能的高精密應(yīng)用

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