內置式主動隔振系統
DVIA-M系列無噪納米級成像的終極解決方案
DVIA-M是全球最先進的內置式主動隔振系統，可集成于各類平臺，專為電子顯微鏡等精密設備提供內置主動隔振解決方案。
特征
1.亞赫茲隔振性能
DVIA-M 系列嵌入了最先進的主動振動控制算法，
可在六個自由度下提供 1 Hz 時 50% – 80% 的隔振效果，在 2 Hz 時提供 90% 的隔振效果。
2.內置主動隔振系統
DVIA-M 主動隔振器設計為納米級成像設備（如電子顯微鏡）的內置主動隔振系統。
3.反饋和饋送控制算法
DVIA 系列使用反饋控制算法連續檢測干擾隔離表面的振動，并立即做出反應以實時減少振動。DVIA 系列采用前饋控制算法，在地板振動傳遞到安裝在主動隔振系統上的設備之前，提前過濾掉地板振動。
4.所有六個自由度的主動隔振
DVIA 系列控制三個平移度（X、Y 和 Z）和三個旋轉度（俯仰、滾動和偏航）的振動。
性能
??1 Hz 頻率下可實現?50%～80%?的隔振效果
??≥2 Hz 頻率下隔振效果高達?≥90%
??≥2 Hz 頻率下隔振效果高達?≥90%
規格
| 型號 | DVIA-M1000 | DVIA-M3000 | DVIA-M6000 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 隔離器尺寸（長 x 寬 x 高） | 190 x 190 x 178 毫米 | 232 x 232 x 180 毫米 | 308 x 308 x 180 毫米 | ||||||
| 負載能力 | 500 – 1700 公斤 | 1500 – 3500 公斤 | 3000 – 6000 公斤 | ||||||
| 驅動器 | 電磁執行器 | ||||||||
| 最大執行器力 | 垂直： 40 N， 水平： 20 N | 垂直： 80 N， 水平： 40 N | |||||||
| 自由度 | 6 度 | ||||||||
| 有源隔離范圍 | 0.5 – 100 赫茲 | ||||||||
| 1 Hz 時的隔振 | 50% – 80% | ||||||||
| ≥2 Hz 時的隔振 | ≥ 90% | ||||||||
| 輸入電壓 （V） | AC100 – 240V / 50 – 60 Hz / 1A | ||||||||
| 功耗 （W） | 最大 110W，正常運行時 <50 W | ||||||||
| 工作范圍 | 溫度 （°C） | 5 – 50 °C | |||||||
| 濕度 （%） | 20 – 90% | ||||||||
| 所需氣壓 | ≥ 0.5 MPa （5 bar） | ||||||||
應用
- 掃描電子顯微鏡技術（Scanning Electron Microscopy, SEM）
- 透射電子顯微鏡技術（Transmission Electron Microscopy, TEM）
- 掃描透射電子顯微鏡技術（Scanning Transmission Electron Microscopy, STEM）
- 掃描隧道電子顯微鏡技術（Scanning Tunneling Electron Microscopy, STM）
