DAEIL SYSTEMS、電子顯微鏡主動隔振系統、DVIA-ML系列、完全受控的振動環境、實時數據處理和自適應控制算法
世界上最先進的
主動隔振系統
DVIA-ML 系列配備了最先進的硬件和軟件，包括先進的傳感器、實時數據處理和自適應控制算法，是世界上最先進的主動隔振系統。它提供了一個完全受控的振動環境，滿足了其他系統無法滿足的電子顯微鏡最困難的振動要求。
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所有六個自由度的
主動隔振
DVIA 系列控制三個平移度
（X、Y 和 Z）和三個旋轉度（俯仰、滾動和偏航）的振動。
用于精確振動測量的高靈敏度速度傳感器
DVIA-ML 系列具有 11 個地震檢波器速度傳感器，具有 靈敏度為 2.55 V/in/s （100.4 V/m/s），可有效檢測低頻振動。這 失真 <在 12 Hz 和 0.7 in/s p-p 位移下測得的 0.15% 非常低，這表明 傳感器將提供準確的測量結果，而不會引入重大誤差。特地 速度傳感器在負載 （20 kN） 時具有更高的阻尼值 0.67，穩定 在實際應用中有效振動。
高級傳感器放大器板 電路，可獲取低至 0.3 Hz 左右的振動信號
GS-ONE 的輸出使用專用傳感器放大器進行放大 專門在低頻下增加增益的板電路。這種放大 確保小的低頻信號更容易被檢測和使用。 除了這種基于硬件的放大之外，還應用了數字濾波器以進一步增強 信號。該濾波器旨在提高低頻時的增益，校正任何 否則可能會發生的衰減。 由于這些硬件和軟件校正，GS-ONE 輸出對 檢測和處理低至 0.3 Hz 左右的振動。這確保了即使 精確捕獲低頻振動，實現主動隔振系統 即使在這些頻率下也能發揮最佳功能。此詳細說明強調了硬件 （放大器電路）和軟件（數字濾波器）協同工作以增強低頻 GS-ONE 傳感器的性能。先進的傳感器放大器板放大了 低頻的速度傳感器，數字濾波器有效地校正這些增益 捕獲低至約 0.3 Hz 的振動信號。這實現了出色的振動 1 Hz 時的隔離性能
高性能數字信號 處理器對振動的響應時間為 0.0005 秒
DVIA-ML 系列配備了高性能 浮點數字信號處理器 （DSP），提供 1800 MFLOPS 和 2400 MIPS 可實現快速、精確的振動響應。它具有?16 位 A/D?具有 19 個通道的轉換器和具有 10 個通道的?24 位 D/A 轉換器?頻道，確保數據采樣準確同步。利用先進的數字技術 信號處理和精確的轉換器，該系統可以檢測和響應振動 延遲最小，使其成為高精度隔振應用的理想選擇。
磁場小于 0.05μT，可實現最佳電子顯微鏡性能。
DVIA-ML 系列經過精心設計，可保持低于 0.05μT 的極低磁場， 這對于防止干擾高靈敏度電子顯微鏡至關重要。電子顯微鏡 / 特別高分辨率的型號，對磁場極其敏感， 因為即使是很小的波動也會使電子束失真并影響圖像清晰度。 通過將磁場最小化到如此低的水平，DVIA-ML 系列確保電子顯微鏡可以在沒有磁干擾風險的情況下運行。 允許更精確和準確的成像和測量。這對于需要納米或亞納米分辨率的應用尤為重要。 即使是很小的干擾也可能導致嚴重的數據不準確。
全新的反饋控制可實現開環調諧的優化。
反饋控制系統不斷測量隔離的質量振動，并利用電磁致動器來產生相等和 相反的力來減弱孤立質量上的振動。盡管隔離系統開箱即用，但調整反饋開環可以優化 通過根據隔離質量調整增益并使用新的和先進的陷波濾波器來考慮結構共振或振動源，從而提高隔離性能。
先進的前饋控制 顯著提高低頻 隔振性能。
前饋控制使用實時地面傳感器測量來檢測 vibration 并向執行器發送信號，以在地板振動之前取消地板振動 傳輸到孤立的腫塊。DVIA-ML 前饋控制顯著提高了 隔振性能。通過動態控制，前饋控制很容易適應 以適應設施中不斷變化的振動水平，并且不需要不斷重新調整即可提供 出色的性能。
新的 PID 調節軟件、
更多的 PID 增益、用于穩定性和性能的濾波器
。
DVIA-ML1000 的新調諧軟件提供了更多的濾波器和增益，以 更有效地控制振動。的 濾波器槽從 3 增加到 5，這使我們能夠精細而準確地調整 主動隔振系統。這 新的前饋 D 增益和 D 頻率 （Hz） 為調諧有源器件提供了出色的穩定性 系統低于 10 Hz。特別地， 我們能夠使用新的前饋 D 增益控制將振動衰減到 0.5 Hz 以下。 出色的隔振性能 性能。新的調諧軟件提供 0.1 Hz 的開環傳遞函數 使我們能夠準確檢查 相位裕量，以便我們可以穩定地調整增益值以獲得出色的低頻 隔振性能。
規格
- 型DVIA-ML1000 系列DVIA-ML3000 系列
- 尺寸可定制（固定高度：173 mm）可定制（固定高度：178 mm）
- 最大負載能力1700 千克3500 公斤
- 隔振技術反饋和前饋控制
- 自由度6 度
- 主動隔離帶寬0.5 – 200 赫茲
- 隔振80 Hz 時為 90 – 1%
- 驅動器
- 最大執行器力垂直 40 N，水平 20 N
- 振動傳感器地震檢波器，靈敏度：2.55 V/in/s （100.4 V/m/s） ± 10%
- 調平重復性重復精度：± 0.1 mm
- 控制器內置
- 環保要求CE 和 TUV
- 電源要求線路電壓：100 – 260V AC，線路頻率：50/60 Hz
- 空氣要求氣壓： 4 – 6 bar， 空氣輸送量： 10 L/min
- 環境要求溫度： 5 – 50 °C， 濕度： 20 – 90 %