DAEIL SYSTEMS、電子顯微鏡主動隔振系統(tǒng)、DVIA-ML系列、完全受控的振動環(huán)境、實時數(shù)據(jù)處理和自適應(yīng)控制算法

DAEIL SYSTEMS、電子顯微鏡主動隔振系統(tǒng)、DVIA-ML系列、完全受控的振動環(huán)境、實時數(shù)據(jù)處理和自適應(yīng)控制算法

世界上最先進的
主動隔振系統(tǒng)

DVIA-ML 系列配備了最先進的硬件和軟件，包括先進的傳感器、實時數(shù)據(jù)處理和自適應(yīng)控制算法，是世界上最先進的主動隔振系統(tǒng)。它提供了一個完全受控的振動環(huán)境，滿足了其他系統(tǒng)無法滿足的電子顯微鏡最困難的振動要求。

 

特征
習(xí)慣 設(shè)計
低剖面 平臺
高靈敏度
傳感器
低頻
信號放大
最小磁力 場
干擾

無與倫比的性能，
優(yōu)于所有其他系統(tǒng)。

DVIA-ML 系列從 0.5 Hz 開始隔離地板振動，
在 1 Hz 時實現(xiàn) 90% 的振動隔離。

性能?性能

所有六個自由度的
主動隔振

DVIA 系列控制三個平移度
（X、Y 和 Z）和三個旋轉(zhuǎn)度（俯仰、滾動和偏航）的振動。

所有六個自由度的主動隔振

適用于空間受限環(huán)境中 SEM 和 TEM
的低矮型平臺

DVIA-ML 系列具有比以前的型號更低的平臺高度， 在空間受限的環(huán)境中為高電子顯微鏡提供更大的間隙。

DVIA-ML 可定制尺寸

用于精確振動測量的高靈敏度速度傳感器

DVIA-ML 系列具有 11 個地震檢波器速度傳感器，具有 靈敏度為 2.55 V/in/s （100.4 V/m/s），可有效檢測低頻振動。這 失真 <在 12 Hz 和 0.7 in/s p-p 位移下測得的 0.15% 非常低，這表明 傳感器將提供準確的測量結(jié)果，而不會引入重大誤差。特地 速度傳感器在負載 （20 kN） 時具有更高的阻尼值 0.67，穩(wěn)定 在實際應(yīng)用中有效振動。

高靈敏度速度傳感器

高級傳感器放大器板 電路，可獲取低至 0.3 Hz 左右的振動信號

GS-ONE 的輸出使用專用傳感器放大器進行放大 專門在低頻下增加增益的板電路。這種放大 確保小的低頻信號更容易被檢測和使用。 除了這種基于硬件的放大之外，還應(yīng)用了數(shù)字濾波器以進一步增強 信號。該濾波器旨在提高低頻時的增益，校正任何 否則可能會發(fā)生的衰減。 由于這些硬件和軟件校正，GS-ONE 輸出對 檢測和處理低至 0.3 Hz 左右的振動。這確保了即使 精確捕獲低頻振動，實現(xiàn)主動隔振系統(tǒng) 即使在這些頻率下也能發(fā)揮最佳功能。此詳細說明強調(diào)了硬件 （放大器電路）和軟件（數(shù)字濾波器）協(xié)同工作以增強低頻 GS-ONE 傳感器的性能。先進的傳感器放大器板放大了 低頻的速度傳感器，數(shù)字濾波器有效地校正這些增益 捕獲低至約 0.3 Hz 的振動信號。這實現(xiàn)了出色的振動 1 Hz 時的隔離性能

高性能數(shù)字信號 處理器對振動的響應(yīng)時間為 0.0005 秒

DVIA-ML 系列配備了高性能 浮點數(shù)字信號處理器 （DSP），提供 1800 MFLOPS 和 2400 MIPS 可實現(xiàn)快速、精確的振動響應(yīng)。它具有?16 位 A/D?具有 19 個通道的轉(zhuǎn)換器和具有 10 個通道的?24 位 D/A 轉(zhuǎn)換器?頻道，確保數(shù)據(jù)采樣準確同步。利用先進的數(shù)字技術(shù) 信號處理和精確的轉(zhuǎn)換器，該系統(tǒng)可以檢測和響應(yīng)振動 延遲最小，使其成為高精度隔振應(yīng)用的理想選擇。

磁場小于 0.05μT，可實現(xiàn)最佳電子顯微鏡性能。

DVIA-ML 系列經(jīng)過精心設(shè)計，可保持低于 0.05μT 的極低磁場， 這對于防止干擾高靈敏度電子顯微鏡至關(guān)重要。電子顯微鏡 / 特別高分辨率的型號，對磁場極其敏感， 因為即使是很小的波動也會使電子束失真并影響圖像清晰度。 通過將磁場最小化到如此低的水平，DVIA-ML 系列確保電子顯微鏡可以在沒有磁干擾風(fēng)險的情況下運行。 允許更精確和準確的成像和測量。這對于需要納米或亞納米分辨率的應(yīng)用尤為重要。 即使是很小的干擾也可能導(dǎo)致嚴重的數(shù)據(jù)不準確。

磁場圖

全新的反饋控制可實現(xiàn)開環(huán)調(diào)諧的優(yōu)化。

反饋控制系統(tǒng)不斷測量隔離的質(zhì)量振動，并利用電磁致動器來產(chǎn)生相等和 相反的力來減弱孤立質(zhì)量上的振動。盡管隔離系統(tǒng)開箱即用，但調(diào)整反饋開環(huán)可以優(yōu)化 通過根據(jù)隔離質(zhì)量調(diào)整增益并使用新的和先進的陷波濾波器來考慮結(jié)構(gòu)共振或振動源，從而提高隔離性能。

反饋控制器 DVIA-ML1000

先進的前饋控制 顯著提高低頻 隔振性能。

前饋控制使用實時地面?zhèn)鞲衅鳒y量來檢測 vibration 并向執(zhí)行器發(fā)送信號，以在地板振動之前取消地板振動 傳輸?shù)焦铝⒌哪[塊。DVIA-ML 前饋控制顯著提高了 隔振性能。通過動態(tài)控制，前饋控制很容易適應(yīng) 以適應(yīng)設(shè)施中不斷變化的振動水平，并且不需要不斷重新調(diào)整即可提供 出色的性能。

前饋控制器 DVIA-ML1000

新的 PID 調(diào)節(jié)軟件、
更多的 PID 增益、用于穩(wěn)定性和性能的濾波器
。

DVIA-ML1000 的新調(diào)諧軟件提供了更多的濾波器和增益，以 更有效地控制振動。的 濾波器槽從 3 增加到 5，這使我們能夠精細而準確地調(diào)整 主動隔振系統(tǒng)。這 新的前饋 D 增益和 D 頻率 （Hz） 為調(diào)諧有源器件提供了出色的穩(wěn)定性 系統(tǒng)低于 10 Hz。特別地， 我們能夠使用新的前饋 D 增益控制將振動衰減到 0.5 Hz 以下。 出色的隔振性能 性能。新的調(diào)諧軟件提供 0.1 Hz 的開環(huán)傳遞函數(shù) 使我們能夠準確檢查 相位裕量，以便我們可以穩(wěn)定地調(diào)整增益值以獲得出色的低頻 隔振性能。

新的 PID 調(diào)節(jié)軟件

規(guī)格

  • 型
    DVIA-ML1000 系列
    DVIA-ML3000 系列
  • 尺寸
    可定制（固定高度：173 mm）
    可定制（固定高度：178 mm）
  • 最大負載能力
    1700 千克
    3500 公斤
  • 隔振技術(shù)
    反饋和前饋控制
  • 自由度
    6 度
  • 主動隔離帶寬
    0.5 – 200 赫茲
  • 隔振
    80 Hz 時為 90 – 1%
  • 驅(qū)動器
  • 最大執(zhí)行器力
    垂直 40 N，水平 20 N
  • 振動傳感器
    地震檢波器，靈敏度：2.55 V/in/s （100.4 V/m/s） ± 10%
  • 調(diào)平重復(fù)性
    重復(fù)精度：± 0.1 mm
  • 控制器
    內(nèi)置
  • 環(huán)保要求
    CE 和 TUV
  • 電源要求
    線路電壓：100 – 260V AC，線路頻率：50/60 Hz
  • 空氣要求
    氣壓： 4 – 6 bar， 空氣輸送量： 10 L/min
  • 環(huán)境要求
    溫度： 5 – 50 °C， 濕度： 20 – 90 %

 


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