DAEIL SYSTEMS內置主動隔振系統、DVIA-M 系列、無噪聲的納米級成像、集成在各種平臺中、用作電子顯微鏡內部的內置主動隔振系統
反饋和饋送控制算法
DVIA 系列使用反饋控制算法連續檢測干擾隔離
表面的振動，并立即做出反應以實時減少振動。DVIA 系列采用前饋控制算法
，在地板振動傳遞到安裝在主動隔振系統上的設備之前，提前過濾掉地板振動
。
所有六個自由度的
主動隔振
DVIA 系列控制三個平移度
（X、Y 和 Z）和三個旋轉度（俯仰、滾動和偏航）的振動。
1 Hz
時隔振率為 50% – 80%≥≥2 Hz 時隔振率為 90%
| 型 | 硬盤 DVIA-M1000 | 硬盤 DVIA-M3000 | 硬盤 DVIA-M6000 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 隔離器尺寸（長 x 寬 x 高） | 190 x 190 x 178 毫米 | 232 x 232 x 180 毫米 | 308 x 308 x 180 毫米 | ||||||
| 負載能力 | 500 – 1700 公斤 | 1500 – 3500 公斤 | 3000 – 6000 公斤 | ||||||
| 驅動器 | 電磁執行器 | ||||||||
| 最大執行器力 | 垂直： 40 N， 水平： 20 N | 垂直： 80 N， 水平： 40 N | |||||||
| 自由度 | 6 度 | ||||||||
| 有源隔離范圍 | 0.5 – 100 赫茲 | ||||||||
| 1 Hz 時的隔振 | 50% – 80% | ||||||||
| ≥2 Hz 時的隔振 | ≥ 90% | ||||||||
| 輸入電壓 （V） | AC100 – 240V / 50 – 60 赫茲 / 1A | ||||||||
| 功耗 （W） | 最大 110W，正常運行時 <50 W | ||||||||
| 工作范圍 | 溫度 （°C） | 5 – 50 °C | |||||||
| 濕度 （%） | 20 – 90% | ||||||||
| 所需氣壓 | ≥ 0.5 MPa （5 巴） | ||||||||
應用：
掃描電子顯微鏡
透射電子顯微鏡
掃描透射電子顯微鏡
掃描隧道電子顯微鏡