韓國DAEIL ,隔振平臺,內(nèi)置主動隔振系統(tǒng),DVIA-M 系列,無噪聲的納米級成像,用作電子顯微鏡內(nèi)部的內(nèi)置主動隔振系統(tǒng)
內(nèi)置主動隔振系統(tǒng)
DVIA-M 系列
無噪聲的納米級成像
亞赫茲隔振性能
DVIA-M 系列嵌入了最先進(jìn)的主動振動控制算法，
可在六個自由度下提供 1 Hz 時 50% – 80% 的隔振效果，在 2 Hz 時提供 90% 的隔振效果。
內(nèi)置主動隔振系統(tǒng)
DVIA-M 主動隔振器設(shè)計為納米級成像設(shè)備（如電子顯微鏡）的內(nèi)置主動隔振系統(tǒng)
。
反饋和饋送控制算法
DVIA 系列使用反饋控制算法連續(xù)檢測干擾隔離
表面的振動，并立即做出反應(yīng)以實時減少振動。DVIA 系列采用前饋控制算法
，在地板振動傳遞到安裝在主動隔振系統(tǒng)上的設(shè)備之前，提前過濾掉地板振動
。
所有六個自由度的
主動隔振
DVIA 系列控制三個平移度
（X、Y 和 Z）和三個旋轉(zhuǎn)度（俯仰、滾動和偏航）的振動。
