經濟型掃描狹縫光束分析儀（適用于小光斑測量）
DataRay公司的Beam’R2是一款適用于多種激光光束分析場景的高性價比設備。該儀器標配2.5微米精密狹縫，同時可選配刀口式狹縫，可測量直徑小至2微米的光束。通過硅（Si）和銦鎵砷（InGaAs）或擴展銦鎵砷（InGaAs-extended）探測器的靈活選配，其波長覆蓋范圍可達190納米至2500納米。相比基于相機的系統，掃描狹縫技術能提供更高的分辨率。
核心特性
多探測器選項，覆蓋190-2500納米：
190-1150納米（硅探測器）
650-1800納米（銦鎵砷探測器）
1800-2300/2500納米（擴展銦鎵砷探測器）
符合ISO標準的光束直徑測量
USB 2.0接口供電
自動增益調節功能
可選配M2測量模塊（符合ISO 11146標準）
True2D™狹縫技術
0.1微米級分辨率
5Hz刷新率（可調范圍2-10Hz）
支持連續波/準連續波光束分析
光束直徑范圍：5微米至4毫米（刀口模式下可測2微米）
典型應用
超小激光光束分析
光學組件裝配與儀器校準
OEM系統集成
透鏡焦距測試
實時診斷聚焦與準直誤差
多組件同步聚焦校準
搭配M2DU模塊實現M2測量
True2D™ 狹縫技術解析
采用藍寶石基底上的0.4微米金屬多層薄膜結構
相比傳統空氣狹縫具有多重優勢：
避免隧道效應（空氣狹縫因深度大于寬度，在高能量照射下易變形）
| Specification | Detail |
|---|---|
| Wavelength | Si detector: 190 to 1150 nm InGaAs detector: 650 to 1800 nm Si + InGaAs detectors: 190 to 1800 nm Si + InGaAs (extended) detectors: 190 to 2300 or 2500 nm |
| Scanned Beam Diameters | Si detector: 5 μm to 4 mm? to 2 μm in Knife-Edge mode InGaAs detector: 10 μm to 3 mm? to 2 μm in Knife-Edge mode InGaAs (extended) detector: 10 μm to 2 mm? to 2 μm in Knife-Edge mode |
| Beam Waist Diameter Measurement | Second moment (4s) diameter to ISO 11146; Fitted Gaussian & TopHat 1/e2 (13.5%) width User selectable % of peak Knife-Edge mode for very small beams |
| Measured Sources | CW, Quasi-CW beams |
| Resolution Accuracy | 0.1 μm or 0.05% of scan range ± < 2% ± = 0.5 μm |
| Maximum Power & Irradiance | 1 W Total & 0.5 mW/μm2 |
| Gain Range | 1?000:1 Switched; 4?096:1 ADC range |
| Displayed Graphics | X-Y Position & Profiles? Zoom x1 to x16 |
| Update Rate | ~5 Hz, adustable 2 to 10 Hz |
| Pass/Fail Display | On-screen selectable Pass/Fail colors. Ideal for QA & Production. |
| Averaging | User selectable running average (1 to 8 samples) |
| Statistics | Min.? Max.? Mean? Standard Deviation Log data over extended periods |
| XY Profile & Centroid | Beam Wander display and logging |
| Minimum Requirements | Windows 10 64-bit |
