美國Dover Motion DOF-5-E38-G03-TH02-R3-500納米級載物臺
Dover Motion DOF-5 – 物鏡聚焦載物臺
Dover Motion DOF-5 物鏡聚焦平臺經過精心設計，可提供更大的行程 （5 mm） 和更高的帶寬 （> 225 Hz），而成本僅為采用壓電電機的壓電平臺的一小部分。通過將伺服驅動器和運動控制器嵌入到舞臺內部，消除了復雜的布線，從而比競爭對手的產品降低了整體系統(tǒng)成本，同時仍保持同等或更好的性能。
Dover Motion DOF-5 的行程> 5 mm，可提供更大的工程靈活性。壓電陶瓷系統(tǒng)的行程受限（通常為 100 至 300 微米）通常會導致系統(tǒng)性能受到影響。嘗試延長行程，例如使用杠桿放大，會顯著降低聚焦級的諧振頻率和剛度。Dover Motion DOF-5 增加的行程消除了對額外粗定位軸的需求。此外，Dover Motion DOF-5 可以直接連接到自動對焦系統(tǒng)，以便于集成。
Dover Motion? DOF-5 載物臺規(guī)格
| 描述 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 行程（毫米） | > 5 |
| 有效載荷質量（g） | 100 – 900 |
| 分辨率（納米） | 1.25或5 |
| 伺服帶寬 (Hz) | ≥225赫茲 |
| 穩(wěn)定性（納米均方根） | 5 |
| 步步安頓 | 100 nm，+/- 15 nm，< 15 ms |
| 雙向重復性 (nm)（500nm 移動） | 25 |
| 歸位重復性（微米） | 1 |
| 總體尺寸，不包括物鏡安裝座（毫米） | 77×82×30 |
| 1 kg 時的最大加速度 (m/s/s) | 6 |
| 最大速度（毫米/秒） | 125（5 nm 分辨率） |
| 通訊 | RS232, RS485 full or half Duplex, CAN2.0B |
| 輸入 | step and direction |
Dover Motion DOF-5-E38-G03-TH02-R3-500物鏡定位方向：
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