美國Dover Motion MMS-200高功率微型長行程線性載物臺
Dover Motion MMS 系列微型載物平臺是一款高性能定位器,采用小型封裝設計,非常適合減小儀器尺寸和降低成本。它的總高度為 37 毫米,將阿貝誤差效果降至最低。非接觸式無鐵芯伺服電機提供高推力和穩定的速度,無齒槽效應。四個循環滾珠軸承滑架用于確保平穩、穩定和準確的運動。MMS 系列配有精密光學編碼器,用于可重復的閉環定位。該載物臺專為快速且無需維護而設計,非常適合用于高通量應用。
微型穿梭平臺可以堆疊到 XY 多軸組件中,或與Dover Motion的 MMX 系列組合用于堆疊式 XY 設置,其中Dover Motion MMS 用于長行程負載/卸載,MMX 作為較短行程軸,以減少整體系統占地面積。
Dover Motion MMS設計特點:
非常適合在成像儀器
中進行準確和可重復的樣品定位運動 與 Dover Motion 的 DMCM 控制器
配對時,位置分辨率低至 1.25nm 行程可達 400mm,適用于長行程應用
外形扁平、可定制和可堆疊的設計確保適合獨特的應用
Dover Motion MMS選項:
DMCM?Dover 運動控制模塊、單軸驅動器和控制器
用于連接 DMCM 的電機和編碼器電纜套件
Dover Motion MMS規格:
基本模型 | 單位 | MMS-200 | MMS-275 | MMS-400 |
---|---|---|---|---|
旅行 | 毫米 | 200 | 275 | 400 |
精度,斜率校正 | 微米 TIR | 8 | 11 | 15 |
反饋設備 – 編碼器 | 模擬 20 μm 間距,分辨率低至 1.25nm | |||
雙向重復精度 | 微米 | 2 | 2 | 2 |
負載能力 | 公斤 | 12 | 12 | 12 |
最大加速度 | 米/秒 | 30 | 30 | 30 |
最大速度 | 米/秒 | 2 | 2 | 2 |
平面度 & 直線度 | 微米 TIR | 10 | 20 | 32 |
安裝表面平整度 | >μm TIR | 5 | 10 | 16 |
俯仰和偏航 | 弧秒 | 40 | 50 | 60 |
總質量 | 公斤 | 2.5 | 2.9 | 3.7 |
移動質量 | 公斤 | 0.4 | 0.4 | 0.4 |