Dover Motion SmartStage™ Z-50電動直線定位平臺
Dover Motion的SmartStage™ Z-50是一款高性能的電動直線定位平臺,專為需要高精度、高負載能力和長行程應用的場合設計。以下是關于SmartStage™ Z-50的詳細介紹:
一、產品特點
- ?高精度?:SmartStage™ Z-50采用了先進的直線導軌和精密的伺服電機驅動系統,確保了極高的定位精度和重復定位精度。這使得它非常適合于需要高精度定位的應用,如半導體制造、光學檢測、精密機械加工等領域。
- ?高負載能力?:該平臺具有出色的負載能力,能夠承受較大的垂直或水平負載,從而滿足各種復雜工況下的需求。
- ?長行程?:SmartStage™ Z-50提供了較長的行程選項,使得它能夠在較大的工作區域內進行穩定的直線運動。
- ?集成控制器?:該平臺集成了高性能的控制器,支持多種通信協議,如EtherCAT、CANopen等,方便與各種控制系統進行集成。
- ?易于編程和控制?:SmartStage™ Z-50提供了豐富的編程接口和控制選項,使得用戶能夠輕松實現復雜的運動控制算法和軌跡規劃。
二、應用領域
SmartStage™ Z-50廣泛應用于各種需要高精度直線定位的領域,包括但不限于:
- ?半導體制造?:在半導體制造過程中,SmartStage™ Z-50可用于晶圓傳輸、光刻對準等關鍵步驟,確保制造過程的高精度和穩定性。
- ?光學檢測?:在光學檢測領域,SmartStage™ Z-50可用于精確控制待測物體的位置,以實現高精度的光學測量和分析。
- ?精密機械加工?:在精密機械加工中,SmartStage™ Z-50可用于控制刀具或工件的位置,以實現高精度的切削和加工。
- ?自動化裝配?:在自動化裝配線上,SmartStage™ Z-50可用于精確控制零部件的位置和姿態,以提高裝配效率和準確性。
Dover Motion SmartStage™ Z-50 納米定位臺
Dover Motion 的納米定位平臺 SmartStage Z-50 為 Z 平臺應用提供了行程距離和精度的獨特組合。
- 恒力平衡重適用于各種質量范圍(600 g-3,800 g)
- 50 毫米行程
- 所有控制裝置均在內部;一根外部電纜
- 5納米分辨率
- 0.8 um 雙向重復性
- 易于原型制作;生產成本效益高