Dover Motion SmartStage™ Z-50電動(dòng)直線定位平臺(tái)

Dover Motion SmartStage™ Z-50電動(dòng)直線定位平臺(tái)

Dover Motion的SmartStage™ Z-50是一款高性能的電動(dòng)直線定位平臺(tái),專為需要高精度、高負(fù)載能力和長(zhǎng)行程應(yīng)用的場(chǎng)合設(shè)計(jì)。以下是關(guān)于SmartStage™ Z-50的詳細(xì)介紹:

一、產(chǎn)品特點(diǎn)

  1. ?高精度?:SmartStage™ Z-50采用了先進(jìn)的直線導(dǎo)軌和精密的伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),確保了極高的定位精度和重復(fù)定位精度。這使得它非常適合于需要高精度定位的應(yīng)用,如半導(dǎo)體制造、光學(xué)檢測(cè)、精密機(jī)械加工等領(lǐng)域。
  2. ?高負(fù)載能力?:該平臺(tái)具有出色的負(fù)載能力,能夠承受較大的垂直或水平負(fù)載,從而滿足各種復(fù)雜工況下的需求。
  3. ?長(zhǎng)行程?:SmartStage™ Z-50提供了較長(zhǎng)的行程選項(xiàng),使得它能夠在較大的工作區(qū)域內(nèi)進(jìn)行穩(wěn)定的直線運(yùn)動(dòng)。
  4. ?集成控制器?:該平臺(tái)集成了高性能的控制器,支持多種通信協(xié)議,如EtherCAT、CANopen等,方便與各種控制系統(tǒng)進(jìn)行集成。
  5. ?易于編程和控制?:SmartStage™ Z-50提供了豐富的編程接口和控制選項(xiàng),使得用戶能夠輕松實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)控制算法和軌跡規(guī)劃。

二、應(yīng)用領(lǐng)域

SmartStage™ Z-50廣泛應(yīng)用于各種需要高精度直線定位的領(lǐng)域,包括但不限于:

  1. ?半導(dǎo)體制造?:在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,SmartStage™ Z-50可用于晶圓傳輸、光刻對(duì)準(zhǔn)等關(guān)鍵步驟,確保制造過(guò)程的高精度和穩(wěn)定性。
  2. ?光學(xué)檢測(cè)?:在光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域,SmartStage™ Z-50可用于精確控制待測(cè)物體的位置,以實(shí)現(xiàn)高精度的光學(xué)測(cè)量和分析。
  3. ?精密機(jī)械加工?:在精密機(jī)械加工中,SmartStage™ Z-50可用于控制刀具或工件的位置,以實(shí)現(xiàn)高精度的切削和加工。
  4. ?自動(dòng)化裝配?:在自動(dòng)化裝配線上,SmartStage™ Z-50可用于精確控制零部件的位置和姿態(tài),以提高裝配效率和準(zhǔn)確性。

Dover Motion SmartStage™ Z-50 納米定位臺(tái)

Dover Motion 的納米定位平臺(tái) SmartStage Z-50 為 Z 平臺(tái)應(yīng)用提供了行程距離和精度的獨(dú)特組合。

  • 恒力平衡重適用于各種質(zhì)量范圍(600 g-3,800 g)
  • 50 毫米行程
  • 所有控制裝置均在內(nèi)部;一根外部電纜
  • 5納米分辨率
  • 0.8 um 雙向重復(fù)性
  • 易于原型制作;生產(chǎn)成本效益高

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