UHP泄壓/背壓VCR型調節器 (1/4″)
DRA77系列是一款適用于超高純度半導體生產線、特種氣體管線、散裝氣體管線及其他設施管線的低壓UHP VCR型泄壓/背壓減壓調節器。
- 內部表面處理達到B.A. 25Ra、E.P. 10Ra或5Ra微英寸,適用于半導體生產線等高潔凈度要求的應用場合。
- 可根據需求選擇2端口、3端口或4端口使用。
- 根據型號不同,調節壓力范圍從0.3bar(5psig)到最高20bar(290psig)。
- 所有的焊接、組裝、測試、清洗等工藝均在100級和10級潔凈室內完成。
- 采用本公司專利的Push and Lock調節手柄,在使用過程中有效防止由于氣體管線的微小振動或外部因素導致的初始設定值發生微小變化,操作更加方便。按下手柄可完全防止設定值變化,拉起手柄則可以自由調節到所需壓力。
規格
接口:
- DRA77-A002S-xxx-4HP-GxS: 1/4″ 內螺紋 (H.P.I.C)
- DRA77-A002S-xxx-4FS-GxS: 1/4″ 內螺紋
- DRA77-A002S-xxx-4MS-GxS: 1/4″ 外螺紋
設計壓力:
- 最大額定壓力的150%
泄漏率認證:
- 認證為 1 x 10?? atm cc/sec,使用氦氣可檢測。
主體材料:
- DRA77-A002x-xxx-xHPGxS: 316L B.A. – 25Ra
- DRA77-B002x-xxx-xHP-GxS: 316L E.P. – 10Ra
- DRA77-C002x-xxx-xHP-GxS: 316L E.P. (P.E.P.) – 5Ra
- DRA77-D002x-xxx-xHP-GxS: 316L VAR E.P. – 10Ra
- DRA77-E002x-xxx-xHP-GxS: 316L VAR (P.E.P.) – 5Ra
閥蓋材料:
- 鍍鎳黃銅(可選不銹鋼 316L)
膜片:
- DRA77-x002S-xxx-xHP-GxS: STS 316L
- DRA77-x002H-xxx-xHP-GxS: Hastelloy-C22
主閥:
- DRA77-B002S-xxx-xHP-GxS: 標準不銹鋼 316L
- DRA77-B002H-xxx-xHP-GxS: 可選 Hastelloy-C22
閥彈簧:
- DRA77-B002S-xxx-xHP-GxS: 標準不銹鋼 316L
- DRA77-B002H-xxx-xHP-GxS: 可選 Hastelloy-C22
閥座:
- DRA77-B002S-xPx-xHP-GxS: PCTFE
- DRA77-B002S-xTx-xHP-GxS: 特氟龍
- DRA77-B002S-xVx-xHP-GxS: Vespel
壓力范圍:
- DRA77-B000S-Lxx-xHP-GxS: 2bar ~ 20bar (29psi ~ 290psi)
出口壓力范圍:
- DRA77-x002x-xxS-xHP-GxS: 2bar (29psi)
- DRA77-x005x-xxS-xHP-GxS: 5bar (72psi)
- DRA77-x010x-xxS-xHP-GxS: 10bar (100psi)
- DRA77-x020x-xxS-xHP-GxS: 20bar (290psi)
工作溫度:
- PCTFE: -40°C ~ +60°C (-40°F ~ +140°F)
- 特氟龍: -40°C ~ +70°C (-40°F ~ +165°F)
- Vespel: -40°C ~ +170°C (-40°F ~ +350°F)
流量能力:
- DRA77-B002x-xxS-4HP-GxS: Cv=0.2 (標準)