韓國Drastar DRA100系列超高純度低壓調(diào)節(jié)器

超高純度 (UHP) VCR型壓力調(diào)節(jié)器

DRA100系列是一種超高純度低壓調(diào)節(jié)器，表面光潔度為B.A. 25Ra、E.P. 10Ra或E.P. 5Ra，適用于高純度半導(dǎo)體制造、特種氣體和大宗氣體管線等設(shè)施。進(jìn)口壓力為3000psig (210bar) 或600psig (42bar)，出口壓力范圍為5psig (0.3bar) 至250psig (17bar)。

  • 適配1/4”、3/8”、1/2”、和3/4” VCR類型接頭
  • 非連接式隔膜設(shè)計(jì)
  • 表面光潔度可達(dá)B.A. 25Ra、E.P. 10Ra或E.P. 5Ra微英寸
  • 配有推鎖式手柄（DRASTAR專利 #10-1086199）
  • 無螺紋設(shè)計(jì)：通過采用鎖板密封系統(tǒng)（DRASTAR專利 #10-0753280）增強(qiáng)了顆粒物的防止
  • 所有焊接、組裝、測試和清潔工作均在Class 100和Class 10潔凈室內(nèi)進(jìn)行
  • 設(shè)計(jì)證明壓力為最大額定值的150%
  • 適用于半導(dǎo)體制造、特種氣體、大宗氣體管線及其他設(shè)施

推鎖式手柄操作簡便：DRASTAR的專利“推鎖式手柄”使操作更加簡便穩(wěn)定；通過按下手柄進(jìn)行“鎖定”，可防止由于氣體管道振動(dòng)或環(huán)境變化導(dǎo)致的預(yù)設(shè)壓力值的輕微變化；反之，拉回手柄即可再次自由調(diào)節(jié)壓力值。

規(guī)格：

接口 (Ports)

  • DRA100-A100S-xxx-4MS-GxS: 1/4″ 外螺紋
  • DRA100-A100S-xxx-4FS-GxS: 1/4″ 內(nèi)螺紋
  • DRA100-A100S-xxx-8MS-GxS: 3/8″ 外螺紋
  • DRA100-A100S-xxx-8FS-GxS: 3/8″ 內(nèi)螺紋
  • DRA100-A100S-xxx-2MS-GxS: 1/2″ 外螺紋
  • DRA100-A100S-xxx-2FS-GxS: 1/2″ 內(nèi)螺紋
  • DRA100-A100S-xxx-3MS-GxS: 3/4″ 外螺紋
  • DRA100-A100S-xxx-3FS-GxS: 3/4″ 內(nèi)螺紋

設(shè)計(jì)壓力 (Design Pressure)

  • 最高額定值的150%

泄漏率認(rèn)證 (Leak Rate Certification)

  • 可達(dá)到 1 x 10?? atm cc/sec 氦氣檢測

主體材料 (Body Materials)

  • DRA100-A100x-xxx-xxS-GxS: 316L B.A. （25Ra）
  • DRA100-B100x-xxx-xxS-GxS: 316L E.P. （10Ra）
  • DRA100-C100x-xxx-xxS-GxS: 316L E.P.(P.E.P.)（5Ra）
  • DRA100-D100x-xxx-xxS-GxS: 316L VAR E.P. （10Ra）
  • DRA100-E100x-xxx-xxS-GxS: 316L VAR(P.E.P.) （5Ra）

閥蓋材料 (Bonnet Material)

  • 鍍鎳黃銅 (可選316L不銹鋼)

隔膜 (Diaphragm)

  • DRA100-x100S-xxx-xxS-GxS: 316L 不銹鋼
  • DRA100-x100H-xxx-xxS-GxS: Hastelloy-C22

主閥 (Main Valve)

  • DRA100-A100S-xxx-xxS-GxS: 316L不銹鋼 (標(biāo)準(zhǔn))
  • DRA100-B100H-xxx-xxS-GxS: Hastelloy-C22 (可選)

閥彈簧 (Valve Spring)

  • DRA100-A100S-xxx-xxS-GxS: 316L不銹鋼 (標(biāo)準(zhǔn))
  • DRA100-B100H-xxx-xxS-GxS: Hastelloy-C22 (可選)

閥座 (Valve Seat)

  • DRA100-B100S-xPx-xxS-GxS: PCTFE
  • DRA100-B100S-xTx-xxS-GxS: Teflon
  • DRA100-B100S-xVx-xxS-GxS: Vespel

進(jìn)口壓力范圍 (Inlet Pressure Ranges)

  • DRA100-A100S-Hxx-xxS-GxS: 3000psi (210bar)
  • DRA100-A100S-Lxx-xxS-GxS: 600psi (42bar)

出口壓力范圍 (Outlet Pressure Ranges)

  • DRA100-x025x-xxS-xMS-GxS: 25psi (1.7bar)
  • DRA100-x050x-xxS-xMS-GxS: 50psi (3.4bar)
  • DRA100-x100x-xxS-xMS-GxS: 100psi (7bar)
  • DRA100-x250x-xxS-xMS-GxS: 250psi (17bar)

工作溫度 (Operating Temperature)

  • PCTFE: -40°C ~ +60°C (-40°F ~ +140°F)
  • Teflon: -40°C ~ +70°C (-40°F ~ +165°F)
  • Vespel: -40°C ~ +170°C (-40°F ~ +350°F)

流量能力 (Flow Capacity)

  • DRA100-x100x-xxS-4MS-GxS: 1/4″ Cv=0.06
  • DRA100-x100x-xxO-4MS-GxS: 1/4″ Cv=0.2
  • DRA100-x100x-xxS-8MS-GxS: 3/8″ Cv=0.2
  • DRA100-x100x-xxS-2MS-GxS: 1/2″ Cv=0.5
  • DRA100-x100x-xxO-2MS-GxS: 1/2″ Cv=1.2
  • DRA100-x100x-xxS-3MS-GxS: 3/4″ Cv=1.2

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