EBIS (Electron Beam Ion Source)電子離子源 2015年5月26日 汪經理 電話:17717301704兩個汝鐵硼永磁環提供壓縮電子束的磁場,這些將被安裝在真空室中為離子源提供烤焙,?磁場強度:400mT阱深:60mm電子能量:最高20kev最大束流:200mA