EBIS (Electron Beam Ion Source)電子離子源

兩個汝鐵硼永磁環提供壓縮電子束的磁場,這些將被安裝在真空室中為離子源提供烤焙,

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磁場強度:400mT

阱深:60mm

電子能量:最高20kev

最大束流:200mA