ECRIS-2.45M 離子源

電子回旋共振離子源,可產生帶點原子和分子離子束流。等離子體由一個固態微波發生器加熱,萃取系統是一個靜電棱鏡。工作氣體由一個高重復性高穩定性的控制器提供,設備很容易安裝在高壓靜電加速器的終端。

能量:最高30kev

束流大?。?00?eμA

微波頻率:(2.45?±?0.15)GHZ

最大微波能量:200w

尺寸:

等離子體腔體長度:200mm

等離子體腔體直徑:100mm

離子源長度:290mm

離子源直徑:210mm

重量:20kg(拓展系統35kg)