Get Control 三軸加速度計測試工具

三軸加速度計測試工具

AMHS 和輸送機制造商利用三軸加速度計測試工具來量化和鑒定 系統(tǒng)開發(fā)、安裝和維護(hù)過程中的振動特性。這 200mm 和 300mm FAB 使用行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)工具測量對晶圓批次引起的振動 他們的物料搬運系統(tǒng)。通過檢測軌道不對中的早期跡象，系統(tǒng)可以 以最大限度地減少晶圓批次上引起的振動。三軸加速度計測試工具可以是 用作獨立裝置或與?GCI 信息中心一起使用，以提供位置數(shù)據(jù)的自動記錄 由 AMHS 車輛提供（配置有 VibCom 無線電時）。

GCI 的三軸加速度計測試工具為 AMHS 供應(yīng)商和 最終用戶。該工具同時采集并記錄 X、Y 和 Z 軸上的振動數(shù)據(jù) 自動或手動運輸。

三軸加速度計測試工具由電池供電且自成一體。包括轉(zhuǎn)接板 將工具剛性安裝在 300 毫米 FOUP 內(nèi)。對于 200 mm 應(yīng)用，可以訂購可選的安裝板 將工具剛性安裝在 200 毫米晶圓支架內(nèi)。LCD 顯示屏和鍵盤提供配置訪問 選項。

板載數(shù)據(jù)縮減

三軸加速度計測試工具每秒執(zhí)行 512 個數(shù)據(jù)點的實時板載數(shù)據(jù)縮減 在每個軸上。提供了多個數(shù)據(jù)縮減選項，包括 RMS、Peak、Frequency at Peak 和 True RMS。 板載數(shù)據(jù)縮減以半秒的間隔執(zhí)行（使用 FFT），每 每個縮減類型的每個軸 second。錄制容量受 microSD 卡可用空間的限制（最長 9 小時）。

減少的數(shù)據(jù)存儲在內(nèi)部 SD 卡上。在上傳到 PC 之前，可以存儲多個錄制會話 進(jìn)行分析。提供 RS-232 端口，用于使用?InfoCenter 桌面應(yīng)用程序上傳數(shù)據(jù)（請聯(lián)系 GCI）。

時域錄制選項

三軸加速度計測試工具可以選擇配置時域記錄選項，將時域數(shù)據(jù)記錄到內(nèi)部 microSD 卡中。使用此選項，Tri-Axial Accelerometer （三軸加速度計） 測試工具每秒將 512 個時域數(shù)據(jù)點/秒直接記錄到已安裝的 microSD 卡上。 錄制容量受 microSD 卡可用空間的限制（最長 9 小時）。數(shù)據(jù)縮減是 在 PC 上使用 GCI 的?VibPlot?或?InfoCenter Desktop?應(yīng)用程序提供。

VibPlot 分析應(yīng)用程序

VibPlot?提供了對記錄的時間進(jìn)行頻率分析的工具 domain 數(shù)據(jù)。VibPlot?復(fù)制了三軸加速度計中提供的板載數(shù)據(jù)縮減 Test Tool?的 API API 中的其他 API API 的 API API 中，還提供了額外的分析功能，例如三個 維度瀑布圖和顏色頻譜圖。時域數(shù)據(jù)可以是 顯示，以及縮減數(shù)據(jù)（RMS、峰值、真 RMS）和 FFT 的圖表 每 1/2 秒間隔的結(jié)果。

InfoCenter 桌面應(yīng)用程序

InfoCenter 桌面應(yīng)用程序在更新的?應(yīng)用程序，該應(yīng)用程序還可以上傳和顯示板載縮減的數(shù)據(jù)集。

特征

軸

  • X、Y 和 Z

測量

  • 頻率 DC 至 150Hz
  • 振動 0.03g 至 2.00g （±0.01g）

電池/充電器

  • 可充電 NIMH 電池組
  • 先進(jìn)的電池充電電路
  • 鋰電池提供靜態(tài) RAM 備份 – 使用壽命長達(dá) 10 年（運行時間）
  • 帶警告指示燈的低電量感應(yīng)。

數(shù)據(jù)分析類型

  • RMS
  • 峰
  • RMS 和峰值
  • RMS、峰值和頻率
  • RMS、峰值、頻率、真 RMS 和 N

用戶界面

  • 2 × 16 字符 LCD
  • 4 鍵鍵盤

Flash PROM

  • 存儲系統(tǒng)固件
  • 使用 GCI 的固件文件輕松升級

內(nèi)置 microSD 卡

  • 存儲錄制會話
  • 存儲容量允許數(shù)百個（取決于錄制長度）單獨的帶時間戳的錄制會話

RS-232 接口

  • 提供一個 RS-232 端口，用于將記錄的數(shù)據(jù)下載到主機 PC。

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