最終解決方案：快速定位并解決 E84 交接失敗的信號異常、丟失和故障
這款新一代記錄設備是一款小型獨立單元，可插入被動設備與 PI/O 收發器之間，以捕獲并記錄 E84 握手信號至其非易失性存儲器。其內部存儲容量可保存超過 50 次 FOUP 交接記錄。為了擴展記錄容量，可以啟用內置的診斷過濾功能。啟用診斷過濾后，E84 DLD 將忽略正常的交接，僅記錄失敗的交接數據至內部存儲。GCI 行業領先的診斷軟件——E84 分析應用程序已包含在該工具中。
300mm 半導體制造的自動化解決方案
工廠自動化廣泛應用于 300mm 半導體制造工廠。300mm 工藝設備使用標準的負載端口，并集成 E84 電氣接口，以在自動化物料搬運系統（AMHS）之間傳輸材料。GCI 的 E84 數據記錄設備（DLD）是一款緊湊型解決方案，可無干擾地監測和記錄與 300mm 材料交接操作相關的 E84 握手信號。結合 GCI 的 E84 分析應用程序，該設備可以在不中斷工作流程的情況下，捕獲、分析并解決 E84 交接問題。
產品特點
- 直接連接工具與光學收發器之間
- 無需外部電源
- 無干擾感應 E84 接口信號
- 記錄超過 50 次交接操作到非易失性存儲器
- 對所有記錄數據進行時間和日期標記
- 可將記錄數據上傳至 PC 和 GCI E84 手持測試儀
- 環形存儲機制，確保最新的交接數據保留在存儲器中
- 在 GCI E84 手持測試儀和 PC 上進行實時信號圖形化分析
- 兼容 GCI E84 分析應用程序
- 可選診斷過濾，僅記錄失敗的交接
- 可選功能：記錄首次有效的裝載/卸載交接，僅在其后記錄失敗交接
- 統計記錄成功和失敗的交接次數
安裝簡便
- 斷開光學收發器的 DB-25 接頭，使其從工具的接口位置斷開。
- 將 DLD 的 DB-25（標記為“Load Port”）插入工具的 DB-25 接口。
- 將光學收發器的 DB-25 插入 DLD 標記為“Optical Transceiver”的 DB-25 接口。
- 使用串行電纜連接 DLD 與 PC 或 E84 手持測試儀，并配置 DLD。
- 配置完成后，斷開 PC 或手持測試儀與 DLD 的連接。
DLD 會立即開始記錄所有 E84 事務。可以隨時通過 PC 或手持測試儀連接 DLD 的串行端口，上傳記錄的事務數據。此外，用戶還可以在不中斷交接操作的情況下，通過 PC 或手持測試儀實時監控信號。
技術規格
- 電源：+24V @ 10mA（從 E84 +24V 電源獲取）
- 通信接口：RS-232 串行通信
- 輸入通道：19 個
- 采樣率：500 Hz
- 設備尺寸：3.8″ × 2.1″ × 0.8″（96.5mm × 53.3mm × 20.3mm）
- 連接端口：DB-25 公頭（主動）和 DB-25 母頭（被動）
包裝內容
- E84 數據記錄設備
- 6 英尺（約 1.8 米）DB-9 公對母串行電纜
- 用戶手冊
